[实用新型]一种VAD芯棒沉积设备反应釜

权利要求书

1.一种VAD芯棒沉积设备反应釜，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)的顶端内壁开设有滑槽(10)，所述滑槽(10)内滑动连接有滑块(9)，所述滑块(9)的一侧固定连接有滑动板(4)，所述滑动板(4)上开设有固定槽(14)，所述固定槽(14)内设置有伸缩组件(13)，所述伸缩组件(13)的另一端设置有固定板(12)，所述固定槽(14)和固定板(12)的相对面设有弹性海绵(11)，两个所述弹性海绵(11)中间设置有种棒(3)，所述滑动板(4)的顶部设置有固定圈(8)，所述固定圈(8)的外表面设置有齿牙(16)，所述壳体(1)上设置有固定架(17)，所述固定架(17)的内壁设置有电机(18)，所述电机(18)的输出轴固定连接有齿轮(19)，所述齿轮(19)与齿牙(16)啮合，所述壳体(1)的一侧设置有燃烧气体和原料供应系统(2)，所述壳体(1)的另一侧连通有排气管(6)，所述排气管(6)通过固定套(5)连通有连接管(25)，所述连接管(25)的另一端连通有过滤筒(22)，所述过滤筒(22)的顶部设置有筒盖(7)，所述筒盖(7)的底部和过滤筒(22)的内壁底部均设置有固定圆环(24)，所述固定圆环(24)设置有过滤网(23)，所述过滤筒(22)的另一侧连通有连接管(25)，且所述连接管(25)通过固定套(5)连通有另一个排气管(6)。

2.根据权利要求1所述的一种VAD芯棒沉积设备反应釜，其特征在于：所述伸缩组件(13)包括伸缩杆(131)和弹簧(132)，所述伸缩杆(131)的外表面套接有弹簧(132)，所述伸缩杆(131)和弹簧(132)的一端固定连接在固定槽(14)上，所述伸缩杆(131)和弹簧(132)的另一端固定连接在固定板(12)上。

3.根据权利要求1所述的一种VAD芯棒沉积设备反应釜，其特征在于：所述固定板(12)的顶部设置有第一把手(15)，所述筒盖(7)上设置有第二把手(20)，且所述第二把手(20)的形状为圆环形。

4.根据权利要求1所述的一种VAD芯棒沉积设备反应釜，其特征在于：所述连接管(25)和排气管(6)的相对端外表面均设置有外螺纹，所述固定套(5)的内壁设置有内螺纹，所述连接管(25)、排气管(6)和固定套(5)通过内螺纹和外螺纹螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的一种VAD芯棒沉积设备反应釜，其特征在于：所述筒盖(7)的内壁设置有内螺纹，所述过滤筒(22)的外表面设置有外螺纹，所述筒盖(7)与过滤筒(22)通过内螺纹和外螺纹螺纹连接，所述过滤筒(22)与筒盖(7)中间设置有密封垫(21)。