[实用新型]一种VAD芯棒沉积设备反应釜

说明书

本实用新型属于VAD芯棒沉积技术领域，尤其为一种VAD芯棒沉积设备反应釜，包括壳体，所述壳体的顶端内壁开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块，所述滑块的一侧固定连接有滑动板，所述滑动板上开设有固定槽，所述固定槽内设置有伸缩组件；本实用新型，通过伸缩组件、固定板、固定槽和弹性海绵的设置，可以对种棒进行固定，并在电机、齿牙、齿轮、滑槽和滑动板等的共同作用下，可以保证种棒的匀速转动，从而保证沉积时的稳定性，在过滤筒、过滤网和筒盖的共同作用下，可以将多余的粉尘进行过滤，在固定套和连接管的作用下，可以方便将过滤筒拆卸下来进行清理，并在筒盖的作用下，可以对过滤网进行拆卸。

技术领域

本实用新型属于VAD芯棒沉积技术领域，具体涉及一种VAD芯棒沉积设备反应釜。

背景技术

近年来，光纤预制棒的制造在中国呈爆炸式的发展，各大光纤光缆厂家为了摆脱对进口光纤预制棒的依赖，都纷纷将目光瞄准光纤预制棒项目，光纤预制棒项目已成为增强竞争力的有力措施之一，就目前国内制备预制棒的工艺来讲，主要有汽相轴向沉积(VAD)法、外部汽相沉积(OVD)法、改进的化学外部汽相沉积(MCVD)法和等离子体沉积(PCVD)法。

VAD在沉积时，从氢氧喷灯喷出的卤化物原料SiC1和GeCl,通过火焰水解反应生成Si02和Ge02的细玻璃松散颗粒，在精确的反应流量、反应气氛和反应温度等控制条件下，芯层和包层玻璃松散颗粒同时沿轴向堆积到旋转的石英种棒前端上的过程，在沉积的过程中，需要对种棒进行夹持，且保持种棒均匀的旋转，才能保证制成芯棒的质量，另外，在反应完毕后，反应后的气体以及多余的粉尘会通过排气管排出反应釜，因此需要对粉尘进行过滤。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种VAD芯棒沉积设备反应釜，具有对粉尘过滤和保证种棒均匀转速的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种VAD芯棒沉积设备反应釜，包括壳体，所述壳体的顶端内壁开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块，所述滑块的一侧固定连接有滑动板，所述滑动板上开设有固定槽，所述固定槽内设置有伸缩组件，所述伸缩组件的另一端设置有固定板，所述固定槽和固定板的相对面设有弹性海绵，两个所述弹性海绵中间设置有种棒，所述滑动板的顶部设置有固定圈，所述固定圈的外表面设置有齿牙，所述壳体上设置有固定架，所述固定架的内壁设置有电机，所述电机的输出轴固定连接有齿轮，所述齿轮与齿牙啮合，所述壳体的一侧设置有燃烧气体和原料供应系统，所述壳体的另一侧连通有排气管，所述排气管通过固定套连通有连接管，所述连接管的另一端连通有过滤筒，所述过滤筒的顶部设置有筒盖，所述筒盖的底部和过滤筒的内壁底部均设置有固定圆环，所述固定圆环设置有过滤网，所述过滤筒的另一侧连通有连接管，且所述连接管通过固定套连通有另一个排气管。

优选的，所述伸缩组件包括伸缩杆和弹簧，所述伸缩杆的外表面套接有弹簧，所述伸缩杆和弹簧的一端固定连接在固定槽上，所述伸缩杆和弹簧的另一端固定连接在固定板上。

优选的，所述固定板的顶部设置有第一把手，所述筒盖上设置有第二把手，且所述第二把手的形状为圆环形。

优选的，所述连接管和排气管的相对端外表面均设置有外螺纹，所述固定套的内壁设置有内螺纹，所述连接管、排气管和固定套通过内螺纹和外螺纹螺纹连接。

优选的，所述筒盖的内壁设置有内螺纹，所述过滤筒的外表面设置有外螺纹，所述筒盖与过滤筒通过内螺纹和外螺纹螺纹连接，所述过滤筒与筒盖中间设置有密封垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型，通过伸缩组件、固定板、固定槽和弹性海绵的设置，可以对种棒进行固定，并在电机、齿牙、齿轮、滑槽和滑动板等的共同作用下，可以保证种棒的匀速转动，从而保证沉积时的稳定性，在过滤筒、过滤网和筒盖的共同作用下，可以将多余的粉尘进行过滤，在固定套和连接管的作用下，可以方便将过滤筒拆卸下来进行清理，并在筒盖的作用下，可以对过滤网进行拆卸。