[实用新型]光刻胶生产废气有害气体吸收装置

权利要求书

1.一种光刻胶生产废气有害气体吸收装置，其特征在于：由依次连通的冷凝分离单元、水喷淋单元、碱液喷淋单元和活性炭吸附过滤单元组成，所述冷凝分离单元包括与NAS-5脱水罐顶部出气管线连通的分离罐、设于分离罐内上部的冷凝液循环管路、设于分离罐内下部的热利用循环管路、与分离罐底部连通的积液罐，所述热利用循环管路与NAS-5脱水罐外部加热水管连通，所述积液罐的上部设有与NAS-5脱水罐顶部出气管线连通的回液管路，所述回液管路上设有单向阀，所述分离罐对应热利用循环管路下方的位置设有进气口，分离罐顶部设有出气口。

2.根据权利要求1所述的光刻胶生产废气有害气体吸收装置，其特征在于：所述水喷淋单元包括水喷淋罐、设于水喷淋罐中部的填料层、设于填料层上方的水喷淋喷头组、设于水喷淋罐底部的储水区、连接于储水区和水喷淋喷头组之间的水输送管路、设于水输送管路上的水提升泵、设于水喷淋喷头组和水喷淋罐顶部出气口之间的气水分离器，水喷淋罐侧壁对应储水区位置设有进气管路，所述水喷淋罐侧壁对应储水区上方的位置设有与水源连通的补水管路，所补水管路上设有控制阀，所述气水分离器由上支撑架、下支撑架、设于上、下支撑架之间的多个同心布置的倒锥形挡板，各倒锥形挡板的母线相互平行，位于中心的倒锥形挡板的底部封闭，相邻两个倒锥形挡板的之间形成倒锥状气流通道。

3.根据权利要求1所述的光刻胶生产废气有害气体吸收装置，其特征在于：所述碱液喷淋单元包括碱液喷淋罐、设于碱液喷淋罐中部的填料层、设于填料层上方的碱液喷淋喷头组、设于碱液喷淋罐底部的储液区、连接于储液区和碱液喷淋喷头组之间的碱液输送管路、设于碱液输送管路上的碱液提升泵、设于碱液喷淋喷头组和碱液喷淋罐顶部出气口之间的气液分离器，碱液喷淋罐侧壁对应储液区位置设有进气管路，所述碱液喷淋罐侧壁对应储液区上方的位置设有与外部补液槽连通的补液管路，所补液管路上设有补液泵，所述气液分离器由上支撑架、下支撑架、设于上、下支撑架之间的多个同心布置的倒锥形挡板，各倒锥形挡板的母线相互平行，位于中心的倒锥形挡板的底部封闭，相邻两个倒锥形挡板的之间形成倒锥状气流通道。

4.根据权利要求2或3所述的光刻胶生产废气有害气体吸收装置，其特征在于：所述上支撑架和下支撑架分别由与水喷淋罐或碱液喷淋罐焊接的环形支撑圈、设于环形支撑圈内侧的十字形连接筋组成，所述十字形连接筋与倒锥形挡板焊接固定。

5.根据权利要求1所述的光刻胶生产废气有害气体吸收装置，其特征在于：所述活性炭吸附过滤单元包括长方体状过滤壳体、均匀间隔设于长方体状过滤壳体中的活性炭过滤片，各个活性炭过滤片由矩形框、设于矩形框内的活性炭过滤本体组成，所述长方体状过滤壳体对应首个活性炭过滤片前方的位置设有进气管路，对应最后一个活性炭过滤片后方的位置设有与烟囱连通的排气管路。