[实用新型]光刻胶生产废气有害气体吸收装置

说明书

本实用新型涉及一种光刻胶生产废气有害气体吸收装置，其技术要点是：由依次连通的冷凝分离单元、水喷淋单元、碱液喷淋单元和活性炭吸附过滤单元组成，冷凝分离单元包括与NAS‑5脱水罐顶部出气管线连通的分离罐、设于分离罐内上部的冷凝液循环管路、设于分离罐内下部的热利用循环管路、与分离罐底部连通的积液罐，热利用循环管路与NAS‑5脱水罐外部加热水管连通，积液罐的上部设有与NAS‑5脱水罐顶部出气管线连通的回液管路，回液管路上设有单向阀，分离罐对应热利用循环管路下方的位置设有进气口。本实用新型结构更为合理、使用节能环保，在对有害气体进行有效祛除的同时，充分利用尾气中的热量，并有效减少NAS‑5流失。

技术领域

本实用新型涉及光刻胶生产设备，具体是一种光刻胶生产废气有害气体吸收装置，适用于光刻胶前步原料商品名NAS-5、化学名称1,2-萘醌-2-重氮-5-磺酸钠盐的生产废气的吸收处理，是光刻胶生产线中重要的重要设备。

背景技术

NAS-5是光刻胶的重要原料，为保证光刻胶生产品质和具体性能指标，NAS-5的生产通常占据光刻胶生产线中重要的一环，NAS-5在反应釜反应完全后通常需要脱水处理，但脱水过程中，会产生酸性尾气，直接排放会造成环境污染。

现有的尾气处理装置应用于NAS-5尾气处理时存在热能源浪费和NAS-5流失的问题，因此，仍需改进。

发明内容

本实用新型的目的是为了提供一种结构更为合理、使用节能环保的光刻胶生产废气有害气体吸收装置，在对有害气体进行有效祛除大颗粒杂质、酸性物质和异味的同时，将尾气中的热量充分用于加热生产环节，并有效减少NAS-5流失。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种光刻胶生产废气有害气体吸收装置，其技术要点是：由依次连通的冷凝分离单元、水喷淋单元、碱液喷淋单元和活性炭吸附过滤单元组成，所述冷凝分离单元包括与NAS-5脱水罐顶部出气管线连通的分离罐、设于分离罐内上部的冷凝液循环管路、设于分离罐内下部的热利用循环管路、与分离罐底部连通的积液罐，所述热利用循环管路与NAS-5脱水罐外部加热水管连通，所述积液罐的上部设有与NAS-5脱水罐顶部出气管线连通的回液管路，所述回液管路上设有单向阀，所述分离罐对应热利用循环管路下方的位置设有进气口，分离罐顶部设有出气口。

上述的光刻胶生产废气有害气体吸收装置，所述水喷淋单元包括水喷淋罐、设于水喷淋罐中部的填料层、设于填料层上方的水喷淋喷头组、设于水喷淋罐底部的储水区、连接于储水区和水喷淋喷头组之间的水输送管路、设于水输送管路上的水提升泵、设于水喷淋喷头组和水喷淋罐顶部出气口之间的气水分离器，水喷淋罐侧壁对应储水区位置设有进气管路，所述水喷淋罐侧壁对应储水区上方的位置设有与水源连通的补水管路，所补水管路上设有控制阀，所述气水分离器由上支撑架、下支撑架、设于上、下支撑架之间的多个同心布置的倒锥形挡板，各倒锥形挡板的母线相互平行，位于中心的倒锥形挡板的底部封闭，相邻两个倒锥形挡板的之间形成倒锥状气流通道。水喷淋单元的目的是为了有效祛除尾气中夹带的大颗粒杂质和可溶于水的有害物质，大颗粒杂质的杂质的祛除避免了在后环节的管路磨损。

上述的光刻胶生产废气有害气体吸收装置，所述碱液喷淋单元包括碱液喷淋罐、设于碱液喷淋罐中部的填料层、设于填料层上方的碱液喷淋喷头组、设于碱液喷淋罐底部的储液区、连接于储液区和碱液喷淋喷头组之间的碱液输送管路、设于碱液输送管路上的碱液提升泵、设于碱液喷淋喷头组和碱液喷淋罐顶部出气口之间的气液分离器，碱液喷淋罐侧壁对应储液区位置设有进气管路，所述碱液喷淋罐侧壁对应储液区上方的位置设有与外部补液槽连通的补液管路，所补液管路上设有补液泵，所述气液分离器由上支撑架、下支撑架、设于上、下支撑架之间的多个同心布置的倒锥形挡板，各倒锥形挡板的母线相互平行，位于中心的倒锥形挡板的底部封闭，相邻两个倒锥形挡板的之间形成倒锥状气流通道。碱液喷淋单元的目的是为了有效中和祛除尾气中夹带的酸性物质。