[实用新型]一种半导体生产用抛光装置

权利要求书

1.一种半导体生产用抛光装置，包括抛光台（1），其特征在于：所述抛光台（1）的顶部设置有输送机构（2），所述抛光台（1）的顶部固定连接有龙门架（3），所述龙门架（3）的顶部固定连接有气缸（4），所述气缸（4）的输出端贯穿至龙门架（3）的内腔并固定连接有抛光机构（5），所述抛光台（1）顶部的前侧和后侧均设置有与抛光机构（5）相适配的夹具（6），所述龙门架（3）的右侧设置有除尘机构（7），所述除尘机构（7）包括固定于龙门架（3）右侧的固定块（71），所述固定块（71）的底部固定连接有吸屑罩（72），所述吸屑罩（72）顶部的前侧和后侧均连通有吸屑管（73），所述抛光台（1）顶部的前侧和后侧均固定连接有储屑箱（74），所述储屑箱（74）的左侧与吸屑管（73）连通，所述储屑箱（74）的顶部固定连接有负压风机（75），所述负压风机（75）的进风口与储屑箱（74）连通且两者的连通处设置有滤布。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用抛光装置，其特征在于：所述输送机构（2）包括开设于抛光台（1）顶部的凹槽（21），所述凹槽（21）的内腔设置有输送带（22）。

3.根据权利要求2所述的一种半导体生产用抛光装置，其特征在于：所述抛光机构（5）包括固定于气缸（4）输出端的升降板（51），所述升降板（51）的顶部固定连接有电机（52），所述电机（52）的输出轴贯穿至升降板（51）的底部并固定连接有抛光盘（53），所述升降板（51）顶部的前侧和后侧均设置有导向机构（54）。

4.根据权利要求3所述的一种半导体生产用抛光装置，其特征在于：所述导向机构（54）包括固定于升降板（51）顶部前侧和后侧的导向杆（541），所述导向杆（541）的顶部贯穿至龙门架（3）的顶部，所述龙门架（3）顶部的前侧和后侧均开设有与导向杆（541）相适配的导向孔（542）。

5.根据权利要求4所述的一种半导体生产用抛光装置，其特征在于：所述夹具（6）包括固定于抛光台（1）顶部前侧和后侧的固定板（61），所述固定板（61）的外侧固定连接有电动伸缩杆（62），所述电动伸缩杆（62）的输出端贯穿至固定板（61）的内侧并固定连接有夹板（63）。

6.根据权利要求5所述的一种半导体生产用抛光装置，其特征在于：所述储屑箱（74）的一侧设置有箱门（76），所述箱门（76）的一侧设置有把手（77）。