[实用新型]一种半导体生产用抛光装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体生产用抛光装置，包括抛光台，所述抛光台的顶部设置有输送机构，所述抛光台的顶部固连有龙门架，所述龙门架的顶部固连有气缸，所述气缸的输出端贯穿至龙门架的内腔并固连有抛光机构，所述抛光台顶部的前侧和后侧均设置有与抛光机构相适配的夹具，所述龙门架的右侧设置有除尘机构，所述除尘机构包括固定于龙门架右侧的固定块，所述固定块的底部固连有吸屑罩，所述吸屑罩顶部的前侧和后侧均连通有吸屑管，所述抛光台顶部的前侧和后侧均固连有储屑箱，所述储屑箱的左侧与吸屑管连通，所述储屑箱的顶部固连有负压风机，所述负压风机的进风口与储屑箱连通且两者的连通处设有滤布。该抛光装置可实现抛光碎屑的自动清理。

技术领域

本实用新型涉及抛光技术领域，具体为一种半导体生产用抛光装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体在生产过程中，需要经过切片、磨片、抛光、清洗、外延、氧化、光刻、扩散、测试、压焊、封装和成品测试过程，半导体抛光后其表面抛光的碎屑会滞留在工作台上，细小的碎屑给使用者后期的清理带来不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体生产用抛光装置，该抛光装置可实现抛光碎屑的自动清理，解决了现有半导体抛光后其表面抛光的碎屑会滞留在工作台上带来清理不便的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体生产用抛光装置，包括抛光台，所述抛光台的顶部设置有输送机构，所述抛光台的顶部固定连接有龙门架，所述龙门架的顶部固定连接有气缸，所述气缸的输出端贯穿至龙门架的内腔并固定连接有抛光机构，所述抛光台顶部的前侧和后侧均设置有与抛光机构相适配的夹具，所述龙门架的右侧设置有除尘机构，所述除尘机构包括固定于龙门架右侧的固定块，所述固定块的底部固定连接有吸屑罩，所述吸屑罩顶部的前侧和后侧均连通有吸屑管，所述抛光台顶部的前侧和后侧均固定连接有储屑箱，所述储屑箱的左侧与吸屑管连通，所述储屑箱的顶部固定连接有负压风机，所述负压风机的进风口与储屑箱连通且两者的连通处设置有滤布。

优选的，所述输送机构包括开设于抛光台顶部的凹槽，所述凹槽的内腔设置有输送带。

优选的，所述抛光机构包括固定于气缸输出端的升降板，所述升降板的顶部固定连接有电机，所述电机的输出轴贯穿至升降板的底部并固定连接有抛光盘，所述升降板顶部的前侧和后侧均设置有导向机构。

优选的，所述导向机构包括固定于升降板顶部前侧和后侧的导向杆，所述导向杆的顶部贯穿至龙门架的顶部，所述龙门架顶部的前侧和后侧均开设有与导向杆相适配的导向孔。

优选的，所述夹具包括固定于抛光台顶部前侧和后侧的固定板，所述固定板的外侧固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端贯穿至固定板的内侧并固定连接有夹板。

优选的，所述储屑箱的一侧设置有箱门，所述箱门的一侧设置有把手。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：该半导体生产用抛光装置中，将待打磨的半导体放置在输送带上输送，输送的过程中被夹具进行夹紧固定，然后通过气缸调节抛光机构向下运动对半导体进行抛光，抛光的过程中开启负压风机，负压风机使储屑箱的内腔形成负压环境，从而通过吸屑罩和吸屑管将抛光产生的碎屑收集到储屑箱的内腔，即可达到清理抛光碎屑的目的，解决了现有半导体抛光后其表面抛光的碎屑会滞留在工作台上带来清理不便的问题。由此可见，本实用新型与现有技术相比，具有实质性特点和进步，其实施的有益效果也是显而易见的。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图一；

图2为本实用新型的立体结构示意图二。