[实用新型]一种点蒸发源

权利要求书

1.一种点蒸发源，至少包括加热装置，其特征在于：所述加热装置包括固定组件和多个重复单元构成的加热丝，所述重复单元包括两个间隔的直线部和与两个直线部端部连接的连接部，所述固定组件至少包括保持架和间隔件，所述保持架设置有多个容置所述重复单元两个直线部的通孔，所述间隔件设置有多个卡设在两个直线部之间的凸起。

2.根据权利要求1所述的点蒸发源，其特征在于：所述保持架为环状结构，所述通孔沿保持架周向均匀分布。

3.根据权利要求1所述的点蒸发源，其特征在于：所述通孔为腰型孔，所述腰型孔的半径与加热丝的半径适配。

4.根据权利要求1所述的点蒸发源，其特征在于：所述间隔件包括环形部，所述凸起设置于所述环形部上并向环形部中心位置延伸。

5.根据权利要求4所述的点蒸发源，其特征在于：所述保持架和间隔件为一组，所述固定组件至少包括两组保持架和间隔件，所述重复单元的两个端部位置分别至少设置一组所述保持架和间隔件。

6.根据权利要求1所述的点蒸发源，其特征在于：所述固定组件包括固定底盘和设置于固定底盘上的定位柱，所述定位柱包括定位台阶，所述保持架上设置供定位柱穿过的保持架定位孔，所述保持架卡接在所述定位台阶上。

7.根据权利要求6所述的点蒸发源，其特征在于：所述定位柱包括多节，所述多节半径依次增大，相邻两节的连接位置形成所述定位台阶。

8.根据权利要求6所述的点蒸发源，其特征在于：所述加热丝为多组并沿定位柱的延伸方向设置，所述保持架和间隔件为多组，每组所述加热丝与至少一组所述保持架和间隔件配合。

9.根据权利要求1-8任一项所述的点蒸发源，其特征在于：还包括具有至少一端开口的冷却腔的冷却装置，所述加热装置设置于所述冷却腔内，所述冷却装置包括水冷套，所述水冷套包括内套和外套，所述内套和外套的端部密封连接，所述内套和外套之间形成过水夹层，所述水冷套的出水管和进水管位于所述水冷套远离开口的一端，所述出水管位于过水夹层内的端口靠近所述水冷套的开口并设置为斜切角。

10.根据权利要求9所述的点蒸发源，其特征在于：所述水冷套远离开口的一端设置固定柱，所述水冷套通过固定柱固定在蒸发腔室内。