[实用新型]一种点蒸发源有效
申请号: | 201921987556.9 | 申请日: | 2019-11-15 |
公开(公告)号: | CN210945760U | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 王浩;高浩然;王小虎;李腾 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 解婷婷;曲鹏 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蒸发 | ||
本实用新型公开了一种点蒸发源,涉及显示装置的制造技术领域,至少包括加热装置,加热装置包括固定组件和多个重复单元构成的加热丝,重复单元包括两个间隔的直线部和与两个直线部端部连接的连接部,固定组件至少包括保持架和间隔件,保持架设置有多个容置重复单元两个直线部的通孔,间隔件设置有多个卡设在两个直线部之间的凸起。本实用新型实施例提供了一种点蒸发源,点蒸发源的加热装置采用保持架和间隔件固定加热丝,保持架和间隔件共同防止加热丝变形错位,避免了穿丝工艺,不仅简化了制备工艺,提升了制造效率,而且避免了保持架的破碎,有效解决现有结构制备工艺复杂、效率低且易造成保持架破碎的问题。
技术领域
本实用新型涉及显示装置的制造技术领域,更具体地,涉及一种点蒸发源。
背景技术
随着有机发光二极管显示(OLED)技术的不断发展,OLED显示器件制作工艺越来越趋于成熟。OLED器件的制作主要有蒸镀、旋涂、喷墨打印等多种方式,其中,蒸镀方式是将装有镀膜材料的蒸发源放置在真空设备内,将镀膜材料进行蒸发喷出,使之在基板表面形成薄膜,蒸镀方式作为一种比较成熟的制备方法,已经运用于量产。
目前,现有点蒸发源结构的加热装置通过穿丝工艺制备,不仅工艺复杂,效率低,而且易造成保持架破碎。
实用新型内容
本实用新型实施例提供了一种点蒸发源,解决现有结构制备工艺复杂、效率低且易造成保持架破碎的问题。
为了达到上述目的,本实用新型实施例提供的点蒸发源至少包括加热装置,加热装置包括固定组件和多个重复单元构成的加热丝,重复单元包括两个间隔的直线部和与两个直线部端部连接的连接部,固定组件至少包括保持架和间隔件,保持架设置有多个容置重复单元两个直线部的通孔,间隔件设置有多个卡设在两个直线部之间的凸起。
可选地,保持架为环状结构,通孔沿保持架周向均匀分布。
可选地,通孔为腰型孔,腰型孔的半径与加热丝的半径适配。
可选地,间隔件包括环形部,凸起设置于环形部上并向环形部中心位置延伸。
可选地,保持架和间隔件为一组,固定组件至少包括两组保持架和间隔件,重复单元的两个端部位置分别至少设置一组保持架和间隔件。
可选地,固定组件包括固定底盘和设置于固定底盘上的定位柱,定位柱包括定位台阶,保持架上设置供定位柱穿过的保持架定位孔,保持架卡接在定位台阶上。
可选地,定位柱包括多节,多节半径依次增大,相邻两节的连接位置形成定位台阶。
可选地,加热丝为多组并沿定位柱的延伸方向设置,保持架和间隔件为多组,每组加热丝与至少一组保持架和间隔件配合。
可选地,还包括具有至少一端开口的冷却腔的冷却装置,加热装置设置于冷却腔内,冷却装置包括水冷套,水冷套包括内套和外套,内套和外套的端部密封连接,内套和外套之间形成过水夹层,水冷套的出水管和进水管位于水冷套远离开口的一端,出水管位于过水夹层内的端口靠近水冷套的开口并设置斜切角。
可选地,水冷套远离开口的一端设置固定柱,水冷套通过固定柱固定在蒸发腔室内。
本实用新型实施例提供了一种点蒸发源,点蒸发源的加热装置采用保持架和间隔件固定加热丝,保持架和间隔件共同防止加热丝变形错位,避免了穿丝工艺,不仅简化了制备工艺,提升了制造效率,而且避免了保持架的破碎,有效解决现有结构制备工艺复杂、效率低且易造成保持架破碎的问题。
本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
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