[实用新型]一种用于硅片加工的抛光机

权利要求书

1.一种用于硅片加工的抛光机，包括底座(1)驱动电机(36)和上端板(18)；其特征在于，所述底座(1)的上端左侧设有左支撑杆(2)，底座(1)的上端右侧设有右支撑杆(29)，且右支撑杆(29)的上侧端部设有顶板(28)，左支撑杆(2)的上侧端部设有抛光液箱(6)，且抛光液箱(6)的右侧端部设有出液管(9)，出液管(9)远离抛光液箱(6)的一侧端部设有喷头(10)，且底座(1)的上端中间位置设有驱动电机(36)，驱动电机(36)的上侧端部设有驱动杆(35)，且驱动杆(35)的上侧端部设有安装基座(11)，安装基座(11)的两端左支撑杆(2)和右支撑杆(29)上均设有稳固座(3)，且稳固座(3)靠近安装基座(11)的一端下侧均设有与安装基座(11)对应设置的安装板(4)，且安装板(4)与稳固座(3)的一端均开设与安装基座(11)对应设置的安装槽(5)，且安装板(4)的上侧端部均设有嵌设柱(7)，安装基座(11)的下侧两端均设有与嵌设柱(7)对应设置的嵌设槽(8)，且安装基座(11)的上侧端部放置有硅片(12)。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的抛光机，其特征在于，所述顶板(28)的下侧端部设有上端板(18)，且上端板(18)的下端设有下端板(17)，且下端板(17)的上端右侧与上端板(18)的连接之间设有伸缩杆(25)，且伸缩杆(25)的下侧端部与下端板(17)的连接之间设有连接端(27)，且伸缩杆(25)的上端设有安装块(24)，安装块(24)的下端伸缩杆(25)上套设有缓冲弹簧(26)，且下端板(17)和上端板(18)的右端正面均设有移动腔(23)，且下端板(17)和上端板(18)的内侧之间相互交叉设有第一交叉杆(19)和第二交叉杆(20)，第一交叉杆(19)的上侧端部与上端板(18)的连接之间设有第二转轴(16)，第一交叉杆(19)的下侧端部与下端板(17)内部的移动腔(23)之间设有第四转轴(22)，第二交叉杆(20)的上侧端部与上端板(18)内部的移动腔(23)之间设有第三转轴(21)，且第二交叉杆(20)的下侧端部与下端板(17)的连接之间设有第一转轴(14)，且上端板(18)的左端中间位置设有升降气缸(31)，且升降气缸(31)远离升降安装转轴(30)的一侧端部设有升降杆(32)，且第一交叉杆(19)和第二交叉杆(20)的交叉之间设有交叉柱(33)，且升降杆(32)远离升降气缸(31)的一侧端部与交叉柱(33)之间固定连接，下端板(17)的下侧端部设有连接块(15)，且连接块(15)的下侧端部设有与硅片(12)对应设置的打磨盘(13)。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的抛光机，其特征在于，所述出液管(9)和喷头(10)的下端与硅片(12)和安装基座(11)对应设置。

4.根据权利要求2所述的一种用于硅片加工的抛光机，其特征在于，所述升降气缸(31)、驱动电机(36)和抛光液箱(6)均与外部电源进而外部单片机电性连接，且外部单片机的型号为：PIC18F4610-I/P。

5.根据权利要求2所述的一种用于硅片加工的抛光机，其特征在于，所述第一交叉杆(19)和第二交叉杆(20)与交叉柱(33)的连接之间安装有交叉转轴(34)。

6.根据权利要求2或4所述的一种用于硅片加工的抛光机，其特征在于，所述升降气缸(31)与上端板(18)的安装连接之间设有安装转轴(30)。