[实用新型]一种用于硅片加工的抛光机

说明书

本实用新型公开了一种用于硅片加工的抛光机，使用时，将硅片放置在安装基座上，在启动升降气缸带动升降杆向下移动，进而带动第一交叉杆和第二交叉杆向下移动，上端板和下端板不仅能够将打磨盘调节到适当的位置，其本身也具有很好为稳定性，便于装置本体的使用；将下端板下端的打磨盘调节到合适的位置处后，在启动驱动电机带动安装基座在稳固座上进行转动，然后硅片自身也转动，通过稳固座上的嵌设柱能够使得安装基座稳固转动，使得硅片在打磨盘的下端稳定转动，便于提高硅片打磨的稳固性，此时将抛光液通过出液管和喷头进行喷洒，在安装基座转动的同时，能够带动硅片沿着打磨盘进行转动打磨，提高了打磨抛光的效率，经济实用，便于推广。

技术领域

本实用新型涉及硅片抛光设备技术领域，具体是一种用于硅片加工的抛光机。

背景技术

当前，企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机稳定性不足，且抛光速率有限，这就导致抛光效率降低，降低整体生产进度，存在不足。

因此，本领域技术人员提供了一种用于硅片加工的抛光机，以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种用于硅片加工的抛光机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于硅片加工的抛光机，包括底座驱动电机和上端板；所述底座的上端左侧设有左支撑杆，底座的上端右侧设有右支撑杆，且右支撑杆的上侧端部设有顶板，左支撑杆的上侧端部设有抛光液箱，且抛光液箱的右侧端部设有出液管，出液管远离抛光液箱的一侧端部设有喷头，且底座的上端中间位置设有驱动电机，驱动电机的上侧端部设有驱动杆，且驱动杆的上侧端部设有安装基座，安装基座的两端左支撑杆和右支撑杆上均设有稳固座，且稳固座靠近安装基座的一端下侧均设有与安装基座对应设置的安装板，且安装板与稳固座的一端均开设与安装基座对应设置的安装槽，且安装板的上侧端部均设有嵌设柱，安装基座的下侧两端均设有与嵌设柱对应设置的嵌设槽，且安装基座的上侧端部放置有硅片；

所述顶板的下侧端部设有上端板，且上端板的下端设有下端板，且下端板的上端右侧与上端板的连接之间设有伸缩杆，且伸缩杆的下侧端部与下端板的连接之间设有连接端，且伸缩杆的上端设有安装块，安装块的下端伸缩杆上套设有缓冲弹簧，且下端板和上端板的右端正面均设有移动腔，且下端板和上端板的内侧之间相互交叉设有第一交叉杆和第二交叉杆，第一交叉杆的上侧端部与上端板的连接之间设有第二转轴，第一交叉杆的下侧端部与下端板内部的移动腔之间设有第四转轴，第二交叉杆的上侧端部与上端板内部的移动腔之间设有第三转轴，且第二交叉杆的下侧端部与下端板的连接之间设有第一转轴，且上端板的左端中间位置设有升降气缸，且升降气缸远离升降安装转轴的一侧端部设有升降杆，且第一交叉杆和第二交叉杆的交叉之间设有交叉柱，且升降杆远离升降气缸的一侧端部与交叉柱之间固定连接，下端板的下侧端部设有连接块，且连接块的下侧端部设有与硅片对应设置的打磨盘。

作为本实用新型进一步的方案：所述出液管和喷头的下端与硅片和安装基座对应设置。

作为本实用新型再进一步的方案：所述升降气缸、驱动电机和抛光液箱均与外部电源进而外部单片机电性连接，且外部单片机的型号为：PIC18F4610-I/P。

作为本实用新型再进一步的方案：所述第一交叉杆和第二交叉杆与交叉柱的连接之间安装有交叉转轴。

作为本实用新型再进一步的方案：所述升降气缸与上端板的安装连接之间设有安装转轴。