[实用新型]一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构

权利要求书

1.一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，其特征在于，包括控制系统、升降装置、承接装置和感应装置，

所述升降装置包括升降驱动器和升降板，所述升降驱动器安装在晶圆视觉检测机上，所述升降驱动器的输入端与所述控制系统电连接，所述升降驱动器的输出端与所述升降板连接，

所述承接装置包括至少一个用于承托晶圆的托臂，所述托臂安装在所述升降板上，

所述感应装置与所述控制系统电连接，所述感应装置安装在所述托臂上，用于感应晶圆的位置。

2.如权利要求1所述的晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，其特征在于，所述升降装置还包括安装板，所述安装板安装在晶圆视觉检测机上，所述升降驱动器通过升降丝杆机构与所述升降板连接，所述升降丝杆机构竖直安装在所述安装板上，所述升降丝杆机构的输入端与所述升降驱动器的输出端连接，所述升降丝杆机构的输出端与所述升降板连接。

3.如权利要求1所述的晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，其特征在于，所述托臂通过移动模块安装在所述升降板上，所述移动模块与所述控制系统电连接，所述移动模块安装在所述升降板的顶部且与所述托臂的底部连接，用于驱动所述托臂在所述升降板上沿水平方向来回滑动。

4.如权利要求3所述的晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，其特征在于，所述移动模块包括固定板、移动电机和传动组件，所述固定板水平安装在所述升降板上，所述移动电机固定安装在所述固定板上且与所述控制系统电连接，所述移动电机的输出端与所述传动组件的输入端连接，所述传动组件的输出端与所述托臂连接，所述移动电机驱动所述传动组件带动所述托臂在所述固定板上滑动。

5.如权利要求4所述的晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，其特征在于，所述传动组件包括主动轮、从动轮和同步带，所述主动轮连接在所述移动电机的输出端，所述从动轮可转动地安装在所述固定板上，所述主动轮和所述从动轮通过所述同步带相连接，所述托臂固定连接在所述同步带上。

6.如权利要求5所述的晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，其特征在于，所述托臂通过连接块与所述同步带固定连接，所述连接块的底部固定连接在所述同步带上，所述连接块的顶部与所述托臂的底部固定连接。

7.如权利要求5所述的晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，其特征在于，所述托臂的数量为两个，各所述托臂分别固定连接在所述同步带的不同输送侧上，所述移动电机驱动所述主动轮转动，带动所述从动轮和所述同步带转动，使得各所述托臂在所述固定板上做张合运动。

8.如权利要求7所述的晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，其特征在于，所述托臂的形状为长条形，所述托臂的纵截面形状为L形。

9.如权利要求4所述的晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，其特征在于，所述固定板的顶部设有至少一条滑轨，所述托臂的底部通过滑块滑动连接在所述滑轨上，所述滑块的顶部与所述托臂的底侧固定连接，所述滑块的底部与所述滑轨滑动连接。