[实用新型]一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构

说明书

本实用新型涉及半导体加工技术领域，公开了一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，其包括控制系统、升降装置、承接装置和感应装置，所述升降装置包括升降驱动器和升降板，所述升降驱动器安装在晶圆视觉检测机上，所述升降驱动器的输入端与所述控制系统电连接，所述升降驱动器的输出端与所述升降板连接，所述承接装置包括至少一个用于承托晶圆的托臂，所述托臂安装在所述升降板上，所述感应装置与所述控制系统电连接，所述感应装置安装在所述托臂上，用于感应晶圆的位置。本实用新型提供的晶圆视觉检测机的晶圆移载机构结构简单，能避免晶圆跌落的情况发生，降低晶圆的损坏率。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，特别是涉及一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构。

背景技术

目前，集成电路产业是我国大力发展的重要科技产业，而晶圆的生产和检测是该产业的基础。晶圆被切割后，非常容易产生诸如污染、划痕和裂纹等缺陷。若这些有问题的次品被流入下一环节，将会大大地降低芯片的良率。为防止此情况发生，半导体生产车间中一般都设有晶圆视觉检测机，用于检测晶圆的质量。

传统的晶圆检测机依靠人工将晶圆搬运至检测台，这样的操作费时费力。现有的晶圆视觉检测机设有夹取机构，其能夹住晶圆，并将晶圆搬运到晶圆视觉检测机的检测装置中。这种夹取机构可以是真空吸盘或其他机械装置。然而现有的夹取机构一旦夹得不牢固，晶圆就容易从夹取机构上掉落，造成损坏。例如，一旦真空吸盘发生真空失效的情况，晶圆会从吸盘底部垂直跌落，导致晶圆破损，生产成本较高。

实用新型内容

本实用新型的目的是：提供一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，其结构简单，能避免晶圆跌落的情况发生，降低晶圆的损坏率。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，其包括控制系统、升降装置、承接装置和感应装置，

所述升降装置包括升降驱动器和升降板，所述升降驱动器安装在晶圆视觉检测机上，所述升降驱动器的输入端与所述控制系统电连接，所述升降驱动器的输出端与所述升降板连接，

所述承接装置包括至少一个用于承托晶圆的托臂，所述托臂安装在所述升降板上，

所述感应装置与所述控制系统电连接，所述感应装置安装在所述托臂上，用于感应晶圆的位置。

作为优选方案，所述升降装置还包括安装板，所述安装板安装在晶圆视觉检测机上，所述升降驱动器通过升降丝杆机构与所述升降板连接，所述升降丝杆机构竖直安装在所述安装板上，所述升降丝杆机构的输入端与所述升降驱动器的输出端连接，所述升降丝杆机构的输出端与所述升降板连接。

作为优选方案，所述托臂通过移动模块安装在所述升降板上，所述移动模块与所述控制系统电连接，所述移动模块安装在所述升降板的顶部且与所述托臂的底部连接，用于驱动所述托臂在所述升降板上沿水平方向来回滑动。

作为优选方案，所述移动模块包括固定板、移动电机和传动组件，所述固定板水平安装在所述升降板上，所述移动电机固定安装在所述固定板上且与所述控制系统电连接，所述移动电机的输出端与所述传动组件的输入端连接，所述传动组件的输出端与所述托臂连接，所述移动电机驱动所述传动组件带动所述托臂在所述固定板上滑动。

作为优选方案，所述传动组件包括主动轮、从动轮和同步带，所述主动轮连接在所述移动电机的输出端，所述从动轮可转动地安装在所述固定板上，所述主动轮和所述从动轮通过所述同步带相连接，所述托臂固定连接在所述同步带上。

作为优选方案，所述托臂通过连接块与所述同步带固定连接，所述连接块的底部固定连接在所述同步带上，所述连接块的顶部与所述托臂的底部固定连接。

作为优选方案，所述托臂的数量为两个，各所述托臂分别固定连接在所述同步带的不同输送侧上，所述移动电机驱动所述主动轮转动，带动所述从动轮和所述同步带转动，使得各所述托臂在所述固定板上做张合运动。