[实用新型]一种刻蚀液混液装置

权利要求书

1.一种刻蚀液混液装置，其特征在于，包括罐体，所述罐体外围设置陶瓷加热结构，所述陶瓷加热结构内部设置水冷管路，所述罐体底部设置万向轮，所述万向轮设置多个，所述罐体底部设置环形支撑板，所述环形支撑板上设置螺栓，所述螺栓长度大于万向轮的高度，所述螺栓设置多个，所述罐体内部设置混液结构，所述混液结构包括设置在罐体底部的驱动结构和设置在罐体内部的搅动结构。

2.根据权利要求1所述的一种刻蚀液混液装置，其特征在于，所述驱动结构包括罐体底部中心位置的转动座，所述转动座上设置旋转驱动电机，所述转动座通过链条与设置在转动座一侧的驱动电机连接，所述旋转驱动电机与转动座侧边连接处设置滚动轮，所述旋转驱动电机的驱动轴穿过隔板并通过滚动轴承实现无摩擦式转动连接，所述滚动轴承上设置圈状的密封机构，所述密封机构上设置转动杆，所述转动杆与旋转驱动电机的驱动轴连接。

3.根据权利要求1所述的一种刻蚀液混液装置，其特征在于，所述搅动结构包括与转动杆连接的多个搅动棒，所述搅动棒与转动杆连接的方式为锥形齿轮连接，所述转动杆顶部与搅动棒靠近转动杆的尾部设置啮合的锥形齿轮结构，所述搅动棒的头部设置弧形分叉，所述弧形分叉设置多个，且所述弧形分叉弧度大于罐体的弧度。

4.根据权利要求3所述的一种刻蚀液混液装置，其特征在于，所述搅动棒设置四个，且相邻角度设置为90°，所述弧形分叉设置四个，且相邻角度为90°。

5.根据权利要求2所述的一种刻蚀液混液装置，其特征在于，所述旋转驱动电机和驱动电机均使用伺服电机。

6.根据权利要求3所述的一种刻蚀液混液装置，其特征在于，所述转动杆和搅动棒连接处设置密封壳体。