[实用新型]一种CrAl合金靶材烧结装置有效
申请号: | 201922004768.7 | 申请日: | 2019-11-19 |
公开(公告)号: | CN211758467U | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 刘耀文;黄军浩 | 申请(专利权)人: | 昆山全亚冠环保科技有限公司 |
主分类号: | B22F3/14 | 分类号: | B22F3/14 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 cral 合金 烧结 装置 | ||
1.一种CrAl合金靶材烧结装置,包括底座(1)、石墨模具(4)和顶板(12),其特征在于,所述底座(1)上端中部设置有热压炉体(2),所述热压炉体(2)内部设置有石墨模具(4),所述石墨模具(4)内部边缘设置有若干烧结腔(7),所述烧结腔(7)内部下侧设置有石墨下模杆(8),所述烧结腔(7)上部设置有石墨上模杆(10),所述底座(1)上端边缘对称设置有若干立柱(11),所述立柱(11)上端共同支撑连接有顶板(12),所述顶板(12)下端中部设置有第二伸缩杆(13),所述第二伸缩杆(13)下端社会资源下压板(14),所述下压板(14)下端通过压杆(15)连接石墨上模杆(10),所述底座(1)内部上侧设置有隔板(17),所述隔板(17)上端左侧滑动连接有推板(19),所述底座(1)左端上侧设置有第三伸缩杆(18),所述第三伸缩杆(18)右端贯穿底座(1)连接推板(19)。
2.根据权利要求1所述的一种CrAl合金靶材烧结装置,其特征在于,所述热压炉体(2)外部设置有保温套(3)。
3.根据权利要求1所述的一种CrAl合金靶材烧结装置,其特征在于,所述石墨模具(4)内部中部设置有加温腔(5),所述加温腔(5)内部设置有加热管(6)。
4.根据权利要求1所述的一种CrAl合金靶材烧结装置,其特征在于,所述烧结腔(7)的个数至少为六个,所述烧结腔(7)在石墨模具(4)呈周向等角度设置。
5.根据权利要求1所述的一种CrAl合金靶材烧结装置,其特征在于,所述底座(1)设置为中空结构,所述底座(1)内部底端设置有第一伸缩杆(9),所述第一伸缩杆(9)上端设置有顶板,所述顶板上端通过连接杆贯穿隔板(17)连接石墨下模杆(8)。
6.根据权利要求1所述的一种CrAl合金靶材烧结装置,其特征在于,所述石墨模具(4)中部侧端等角度设置有若干粉体进料管(16),所述粉体进料管(16)另一端贯穿热压炉体(2)和保温套(3)。
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