[实用新型]一种CrAl合金靶材烧结装置

说明书

本实用新型公开了一种CrAl合金靶材烧结装置，包括底座、石墨模具和顶板；本实用新型在结构上设计合理，工作时，通过粉体进料管加入混合原料，第二伸缩杆带动下压板下移，通过压杆带动石墨上模杆下移压实原料，热压炉体进行进行靶材的热压成型烧结，通过加热管可防止原料加热不均影响产品品质，烧结达到规定时间后，通过石墨上模杆和石墨下模杆带动靶材下移，而后第一伸缩杆通过顶板带动石墨下模杆下移，直至石墨下模杆上端和隔板齐平，第三伸缩杆带动推板右移，可一次性将所有靶材推出取料，本装置采用多工位烧结模式，可一次性加工大量靶材，极大的提高了加工效率和收料效率，降低了设备采购成本。

技术领域

本实用新型涉及靶材加工设备技术领域，具体是一种CrAl合金靶材烧结装置。

背景技术

合金靶材主要用于对溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。目前，现有的合金靶材烧结装置一般为单工位设置，加工效率低，批量化生产时，设备采购成本高，能耗高，且取料不方便。因此，本领域技术人员提供了一种CrAl合金靶材烧结装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种CrAl合金靶材烧结装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种CrAl合金靶材烧结装置，包括底座、石墨模具和顶板，所述底座上端中部设置有热压炉体，所述热压炉体内部设置有石墨模具，所述石墨模具内部边缘设置有若干烧结腔，所述烧结腔内部下侧设置有石墨下模杆，所述烧结腔上部设置有石墨上模杆，所述底座上端边缘对称设置有若干立柱，所述立柱上端共同支撑连接有顶板，所述顶板下端中部设置有第二伸缩杆，所述第二伸缩杆下端社会资源下压板，所述下压板下端通过压杆连接石墨上模杆，所述底座内部上侧设置有隔板，所述隔板上端左侧滑动连接有推板，所述底座左端上侧设置有第三伸缩杆，所述第三伸缩杆右端贯穿底座连接推板。

作为本实用新型进一步的方案：所述热压炉体外部设置有保温套。

作为本实用新型再进一步的方案：所述石墨模具内部中部设置有加温腔，所述加温腔内部设置有加热管。

作为本实用新型再进一步的方案：所述烧结腔的个数至少为六个，所述烧结腔在石墨模具呈周向等角度设置。

作为本实用新型再进一步的方案：所述底座设置为中空结构，所述底座内部底端设置有第一伸缩杆，所述第一伸缩杆上端设置有顶板，所述顶板上端通过连接杆贯穿隔板连接石墨下模杆。

作为本实用新型再进一步的方案：所述石墨模具中部侧端等角度设置有若干粉体进料管，所述粉体进料管另一端贯穿热压炉体和保温套。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型在结构上设计合理，工作时，通过粉体进料管加入混合原料，第二伸缩杆带动下压板下移，通过压杆带动石墨上模杆下移压实原料，热压炉体进行进行靶材的热压成型烧结，通过加热管可防止原料加热不均影响产品品质，烧结达到规定时间后，通过石墨上模杆和石墨下模杆带动靶材下移，而后第一伸缩杆通过顶板带动石墨下模杆下移，直至石墨下模杆上端和隔板齐平，第三伸缩杆带动推板右移，可一次性将所有靶材推出取料，本装置采用多工位烧结模式，可一次性加工大量靶材，极大的提高了加工效率和收料效率，降低了设备采购成本。

附图说明

图1为一种CrAl合金靶材烧结装置的结构示意图。

图2为一种CrAl合金靶材烧结装置石墨模具的俯视图。