[实用新型]一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置

权利要求书

1.一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，包括用以分别设于平面靶材(9)外侧的上下两端的传动杆(3)和导向杆(10)，以及上下两端分别与所述传动杆(3)和所述导向杆(10)滑动连接的多个折叠杆(4)，多个所述折叠杆(4)之间装设有防护屏蔽面(5)。

2.根据权利要求1所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述防护屏蔽面(5)为软帘。

3.根据权利要求1所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述防护屏蔽面(5)为折叠板。

4.根据权利要求1所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述防护屏蔽面(5)的材料为金属。

5.根据权利要求1所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述折叠杆(4)的上下两端分别设有供所述传动杆(3)和所述导向杆(10)穿设的孔。

6.根据权利要求5所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述传动杆(3)设有外螺纹，所述折叠杆(4)设有内螺纹，所述传动杆(3)与所述折叠杆(4)螺纹连接。

7.根据权利要求6所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述传动杆(3)的两端分别设有旋向相反的两组所述外螺纹，所述传动杆(3)的两端分别设有两组所述折叠杆(4)。

8.根据权利要求6所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述传动杆(3)的中部设有与第二传动齿(2)啮合的第一传动齿(1)，所述第二传动齿(2)由传动电机通过传动轴连接。

9.根据权利要求8所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述第一传动齿(1)和所述第二传动齿(2)为斜齿轮。

10.根据权利要求1至9任一项所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述折叠杆(4)均匀分布。