[实用新型]一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置

说明书

本实用新型公开了一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，包括用以分别设于平面靶材外侧的上下两端的传动杆和导向杆，以及上下两端分别与所述传动杆和所述导向杆滑动连接的多个折叠杆，多个所述折叠杆之间装设有防护屏蔽面。上述平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，多个折叠杆沿传动杆和导向杆滑动以带动防护屏蔽面铺展拉开或折叠收回，折叠结构的形式减小了空间的占用，完全拉开时可起到未工作靶材表面的防护作用，部分拉开时还可调节靶材的溅射速率和溅射区域等重要参数，对工艺改善和升级提供新的思路。

技术领域

本实用新型涉及平面磁控溅射技术领域，特别涉及一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置。

背景技术

磁控溅射技术广泛应用于真空镀膜工艺中，是一种利用磁场在靶表面特定区域增强电离效率和增加离子密度和能量，从而实现高速率溅射的过程。

在现有的磁控溅射技术中，普遍采用平面靶材的磁场结构。在平面磁控溅射设备、尤其是实验室用平面磁控溅射设备上，同时安装有多种平面靶材。基于实验需求，在工艺过程中并不一定启用所有靶材，未工作的靶材表面如果没有防护措施会受到其它工作靶材的污染。在下一次启用这些靶面受污染的靶材时，首先，需要额外增加更多的预溅射时间来去除这些靶面杂质，给实验带来不必要的时间和资源上的浪费；其次，靶面杂质是否彻底去除并没有一个明确参数指引，给工艺过程中引入不确定性。

现有的防护措施为整块金属板或多块金属板组合在靶前开合实现对靶面的防护，金属板在开启后会离开靶面，停置在平面阴极左右两边或上下两端的区域，从而额外占用很大一部分腔体空间，结构功能单一，开合方式单一，占用空间大，对真空腔体的空间利用以及对平面阴极的升级改造提出了很高的要求，增加了新设备腔体的制造成本和现有设备的改造难度。

因此，如何能够提供一种在解决未工作靶材表面受其它工作靶材污染问题的基础上、节省空间、功能多样的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置是本领域技术人员亟需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，多个折叠杆沿传动杆和导向杆滑动以带动防护屏蔽面铺展拉开或折叠收回，折叠结构的形式减小了空间的占用，完全拉开时可起到未工作靶材表面的防护作用，部分拉开时还可调节靶材的溅射速率和溅射区域等重要参数，对工艺改善和升级提供新的思路。

为实现上述目的，本实用新型提供一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，包括用以分别设于平面靶材外侧的上下两端的传动杆和导向杆，以及上下两端分别与所述传动杆和所述导向杆滑动连接的多个折叠杆，多个所述折叠杆之间装设有防护屏蔽面。

优选地，所述防护屏蔽面为软帘。

优选地，所述防护屏蔽面为折叠板。

优选地，所述防护屏蔽面的材料为金属。

优选地，所述折叠杆的上下两端分别设有供所述传动杆和所述导向杆穿设的孔。

优选地，所述传动杆设有外螺纹，所述折叠杆设有内螺纹，所述传动杆与所述折叠杆螺纹连接。

优选地，所述传动杆的两端分别设有旋向相反的两组所述外螺纹，所述传动杆的两端分别设有两组所述折叠杆。

优选地，所述传动杆的中部设有与第二传动齿啮合的第一传动齿，所述第二传动齿由传动电机通过传动轴连接。

优选地，所述第一传动齿和所述第二传动齿为斜齿轮。

优选地，所述折叠杆均匀分布。