[实用新型]一种直写式曝光机用轴向传动结构有效
申请号: | 201922012638.8 | 申请日: | 2019-11-20 |
公开(公告)号: | CN211454229U | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 王伟 | 申请(专利权)人: | 王伟 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215011 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 直写式 曝光 轴向 传动 结构 | ||
1.一种直写式曝光机用轴向传动结构,包括第一支撑板(1)、伺服电机(5)和螺母(14),其特征在于:所述第一支撑板(1)的内部设置有收纳槽(2),且收纳槽(2)的内部安装有驱动齿轮(3),所述驱动齿轮(3)的中心固定安装有转轴(4),且转轴(4)穿过第一支撑板(1)与伺服电机(5)固定连接,并且伺服电机(5)固定安装在第一支撑板(1)的外表面,所述驱动齿轮(3)与连接齿轮(6)啮合连接,且连接齿轮(6)位于收纳槽(2)的内部,并且连接齿轮(6)的中心固定安装有丝杆(7),所述丝杆(7)穿过第一支撑板(1)和连接板(8)与第二支撑板(9)轴承连接,且连接板(8)的顶面有顶板(10),并且顶板(10)上开设有通孔(11),所述连接板(8)的底端开设有连接槽(12),且连接槽(12)与螺柱(13)相互连接,并且螺柱(13)的外侧螺纹安装有螺母(14),所述螺柱(13)的外表面安装有限位板(15),且限位板(15)与连接板(8)相互连接。
2.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用轴向传动结构,其特征在于:所述驱动齿轮(3)的结构与连接齿轮(6)的结构相同,且连接齿轮(6)的个数设置有2个,并且2个连接齿轮(6)关于驱动齿轮(3)的纵向中心线对称分布。
3.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用轴向传动结构,其特征在于:所述丝杆(7)与连接板(8)的连接方式为螺纹连接,且连接板(8)设置有两组,并且每组连接板(8)的个数设置有2个。
4.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用轴向传动结构,其特征在于:所述顶板(10)与连接板(8)的连接方式为焊接连接,且顶板(10)的顶面高于第一支撑板(1)和第二支撑板(9)的顶面。
5.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用轴向传动结构,其特征在于:所述螺柱(13)通过连接槽(12)与连接板(8)构成滑动结构,且连接板(8)之间的最大间距小于螺柱(13)的长度。
6.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用轴向传动结构,其特征在于:所述限位板(15)与螺柱(13)为一体化结构,且限位板(15)与连接板(8)的连接方式为贴合连接,并且限位板(15)的直径大于连接槽(12)的高度。
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