[实用新型]一种直写式曝光机用轴向传动结构

说明书

本实用新型公开了一种直写式曝光机用轴向传动结构，包括第一支撑板、伺服电机和螺母，所述第一支撑板的内部设置有收纳槽，且收纳槽的内部安装有驱动齿轮，所述驱动齿轮的中心固定安装有转轴，且转轴穿过第一支撑板与伺服电机固定连接，并且伺服电机固定安装在第一支撑板的外表面，所述驱动齿轮与连接齿轮啮合连接，且连接齿轮位于收纳槽的内部，并且连接齿轮的中心固定安装有丝杆，所述丝杆穿过第一支撑板和连接板与第二支撑板轴承连接。该直写式曝光机用轴向传动结构，需要将平台或是设备固定安装到顶板上时，可根据平台或是设备的尺寸对顶板之间的间距进行合适的调节工作，从而便于后续将平台或是设备固定安装到顶板上。

技术领域

本实用新型涉及直写式曝光机技术领域，具体为一种直写式曝光机用轴向传动结构。

背景技术

直写式曝光机主要是光刻机中的一种，用于生产大规模集成电路的核心设备，在对直写式曝光机进行组装的过程中需要各种结构，其中包括轴向传动结构。

目前市场上常见的轴向传动结构，在与直写式曝光机进行组装固定后，后续需要在该轴向传动结构上安装合适的平台或是设备时，无法根据平台或是设备的尺寸进行合适的调节工作，从而影响到对直写式曝光机整体的组装工作，针对上述问题，在原有的轴向传动结构的基础上进行创新设计。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种直写式曝光机用轴向传动结构，以解决上述背景技术中提出的目前市场上常见的轴向传动结构，在与直写式曝光机进行组装固定后，后续需要在该轴向传动结构上安装合适的平台或是设备时，无法根据平台或是设备的尺寸进行合适的调节工作，从而影响到对直写式曝光机整体的组装工作的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种直写式曝光机用轴向传动结构，包括第一支撑板、伺服电机和螺母，所述第一支撑板的内部设置有收纳槽，且收纳槽的内部安装有驱动齿轮，所述驱动齿轮的中心固定安装有转轴，且转轴穿过第一支撑板与伺服电机固定连接，并且伺服电机固定安装在第一支撑板的外表面，所述驱动齿轮与连接齿轮啮合连接，且连接齿轮位于收纳槽的内部，并且连接齿轮的中心固定安装有丝杆，所述丝杆穿过第一支撑板和连接板与第二支撑板轴承连接，且连接板的顶面有顶板，并且顶板上开设有通孔，所述连接板的底端开设有连接槽，且连接槽与螺柱相互连接，并且螺柱的外侧螺纹安装有螺母，所述螺柱的外表面安装有限位板，且限位板与连接板相互连接。

优选的，所述驱动齿轮的结构与连接齿轮的结构相同，且连接齿轮的个数设置有2个，并且2个连接齿轮关于驱动齿轮的纵向中心线对称分布。

优选的，所述丝杆与连接板的连接方式为螺纹连接，且连接板设置有两组，并且每组连接板的个数设置有2个。

优选的，所述顶板与连接板的连接方式为焊接连接，且顶板的顶面高于第一支撑板和第二支撑板的顶面。

优选的，所述螺柱通过连接槽与连接板构成滑动结构，且连接板之间的最大间距小于螺柱的长度。

优选的，所述限位板与螺柱为一体化结构，且限位板与连接板的连接方式为贴合连接，并且限位板的直径大于连接槽的高度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该直写式曝光机用轴向传动结构，

1、需要将平台或是设备固定安装到顶板上时，可根据平台或是设备的尺寸对顶板之间的间距进行合适的调节工作，从而便于后续将平台或是设备固定安装到顶板上；

2、连接板通过丝杆的旋转可进行平移的工作，同时连接板之间通过螺柱进行固定工作，从而增加连接板之间的稳定性，避免连接板发生旋转的现象，从而便于连接板的移位工作；

3、当需要对连接板和顶板之间的间距进行调节时，工作人员可通过对螺柱的拆卸，使连接板之间的定位工作解除，从而使丝杆在进行旋转时带动连接板进行旋转，避免连接板发生移位工作，便于对连接板之间的距离进行调节。