[实用新型]一种掩膜基片和掩膜板

说明书

本实用新型提供一种掩膜基片和掩膜板。该掩膜基片用于发光材料蒸镀，包括有效使用区和调整固定区，调整固定区围设于有效使用区外围，有效使用区与调整固定区采用相同材料且形成为一体，调整固定区的背离有效使用区的四周边缘均设置有待夹持结构，待夹持结构用于掩膜基片张网固定时被张网机夹持。该掩膜基片张网时在四周各个方向上都能拉伸控制，从而避免掩膜基片张网时某个方向不被拉伸控制所导致的掩膜基片在该方向上出现内缩现象，同时，还能确保掩膜基片在张网时焊接热应力的作用下，不会产生整体偏移，而且能确保掩膜基片在清洗、蒸镀过程中不容易受到损伤，提高了掩膜基片的张网成功率、张网精度和蒸镀时的工艺精度。

技术领域

本实用新型属于显示技术领域，具体涉及一种掩膜基片和掩膜板。

背景技术

在OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示屏的制作过程中，通常采用真空蒸镀的方法将OLED材料通过精密金属掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)的开口沉积到背板的设计位置上。

通常情况下，一张套装掩膜板(Mask Frame Assembly，MFA)由框架(Frame)和若干条FMM组成。一条FMM对应蒸镀待镀基板母板上的一个或多个显示基板区。掩膜板组装的关键步骤是将FMM条拉伸并焊接在框架上，这个过程一般称为张网。张网的关键因素是控制FMM的像素位置精度(Pattern Position Accuracy，PPA)，即控制FMM的开口区与显示基板区内的子像素区域对位重合，如果PPA偏差较大，会使材料在蒸镀时无法落在设计的区域，导致混色不良的发生。分辨率(Pixel Per Inch，PPI)越高的显示屏对于PPA的精度要求也就越高，对应的张网难度也就越大。

现有FMM张网时为单向拉伸，沿拉伸方向的PPA往往更容易控制，但是垂直于拉伸方向由于没有拉伸力控制，所以垂直于拉伸方向的PPA较难灵活控制，主要表现为材料属性的泊松比不尽相同导致张网时在垂直于拉伸方向的内缩现象；同时，张网时，整个FMM容易受到焊接热应力的影响，导致焊接后FMM产生整体偏移的现象。

另外，FMM焊接到框架上的过程中，由于FMM垂直于拉伸方向无法固定，容易在焊接后使FMM产生垂直于拉伸方向的整体偏移；而且整个FMM容易在清洗、蒸镀过程中受到损伤，降低其张网精度和蒸镀的工艺精度。

实用新型内容

本实用新型针对现有FMM张网时只能单向拉伸所致的非拉伸方向的像素位置精度难以控制的问题，提供一种掩膜基片和掩膜板。该掩膜基片通过在调整固定区的背离有效使用区的四周边缘均设置待夹持结构，能使掩膜基片张网时在四周各个方向上都能拉伸控制，从而避免掩膜基片张网时某个方向不被拉伸控制所导致的掩膜基片在该方向上出现内缩现象，同时，还能确保掩膜基片在张网时焊接热应力的作用下，不会产生整体偏移，而且能确保掩膜基片在清洗、蒸镀过程中不容易受到损伤，提高了掩膜基片的张网成功率、张网精度和蒸镀时的工艺精度。

本实用新型提供一种掩膜基片，用于发光材料蒸镀，包括有效使用区和调整固定区，所述调整固定区围设于所述有效使用区外围，所述有效使用区与所述调整固定区采用相同材料且形成为一体，所述调整固定区的背离所述有效使用区的四周边缘均设置有待夹持结构，所述待夹持结构用于所述掩膜基片张网固定时被张网机夹持。

优选的，所述待夹持结构为形成于所述调整固定区边缘的多个齿部，所述齿部相互间隔。

优选的，所述齿部等间隔设置。

优选的，所述齿部的平行于所述掩膜基片的截面形状为矩形、梯形或者三角形。

优选的，所述待夹持结构与所述调整固定区采用相同材料且形成为一体。

优选的，所述调整固定区包括第一区、第二区、第三区和第四区，所述第一区和所述第三区对称设置于所述有效使用区的左右两侧，所述第二区和所述第四区对称设置于所述有效使用区的上下两侧；