[实用新型]镀膜设备

权利要求书

1.一种镀膜设备，其特征在于：包括第一反应腔组(10)、第二反应腔组(20)、一个第一工艺泵(30)、一个第二工艺泵(40)及一个抽真空泵(50)，所述第一反应腔组(10)包含相互独立的多个第一反应腔(11)，所述第二反应腔组(20)包含相互独立的多个第二反应腔(21)，多个所述第一反应腔(11)、所述第二反应腔(21)分别与一个所述抽真空泵(50)连接以共享所述抽真空泵(50)，多个所述第一反应腔(11)分别与一个所述第一工艺泵(30)连接以共享所述第一工艺泵(30)，多个所述第二反应腔(21)分别与一个所述第二工艺泵(40)连接以共享所述第二工艺泵(40)。

2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于：每个所述第一反应腔(11)与所述第二反应腔(21)内均放置载具，所述载具内放置待镀膜的物体。

3.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于：所述第一工艺泵(30)与所述第二工艺泵(40)相互独立运行。

4.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于：每个所述第一反应腔(11)与所述第二反应腔(21)均设有出气口和进料口，所述出气口连接所述抽真空泵(50)，所述第一反应腔(11)的所述进料口连接所述第一工艺泵(30)，所述第二反应腔(21)的所述进料口连接所述第二工艺泵(40)。

5.根据权利要求4所述的镀膜设备，其特征在于：所述第一反应腔(11)和所述第二反应腔(21)的所述出气口与所述抽真空泵(50)之间分别设置有第一角阀(13)、第二角阀(23)以控制所述出气口的打开、闭合。

6.根据权利要求4所述的镀膜设备，其特征在于：所述第一反应腔(11)的所述进料口与对应所述第一工艺泵(30)之间设置有第三角阀(14)和第一蝶阀(15)以控制进料口的打开、闭合；所述第二反应腔(21)的所述进料口与对应所述第二工艺泵(40)之间设置有第四角阀(24)和第二蝶阀(25)以控制进料口的打开、闭合。

7.根据权利要求4所述的镀膜设备，其特征在于：所述第一工艺泵(30)和所述第二工艺泵(40)上均设有排出口，工艺气体从该排出口排出。

8.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于：所述抽真空泵(50)和所述第一工艺泵(30)、所述第二工艺泵(40)分开设置。