[实用新型]一种直拉法单晶用真空吸盘有效
申请号: | 201922022212.0 | 申请日: | 2019-11-21 |
公开(公告)号: | CN210974923U | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 王琳;郭樱花;金鑫 | 申请(专利权)人: | 陕西西京电子科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京兴智翔达知识产权代理有限公司 11768 | 代理人: | 范万兴 |
地址: | 710065 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 直拉法单晶用 真空 吸盘 | ||
1.一种直拉法单晶用真空吸盘,包括真空吸盘主体(1),其特征在于:所述真空吸盘主体(1)的顶部固定连接有吊环(2),所述真空吸盘主体(1)顶部的右侧连通有抽空管(3),所述真空吸盘主体(1)两侧的底部均固定连接有吸盘下端定位块(4),所述吸盘下端定位块(4)的内侧开设有密封圈安装槽(5)。
2.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶用真空吸盘,其特征在于:所述吊环(2)的底部与真空吸盘主体(1)顶部的连接处通过安装板固定连接,且安装板顶部的两侧均设置有螺栓,且螺栓的底部与真空吸盘主体(1)的顶部固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶用真空吸盘,其特征在于:所述抽空管(3)的表面设置有真空阀,且真空阀的右侧设置有流量调节阀,且流量调节阀的右侧固定连接有调节把手。
4.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶用真空吸盘,其特征在于:所述抽空管(3)的顶部连通有管道接头,且管道接头的内腔设置有内螺纹。
5.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶用真空吸盘,其特征在于:所述抽空管(3)与管道接头为一体式成型结构,所述吸盘下端定位块(4)与密封圈安装槽(5)为一体式成型结构。
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