[实用新型]一种直拉法单晶用真空吸盘

说明书

本实用新型公开了一种直拉法单晶用真空吸盘，包括真空吸盘主体，所述真空吸盘主体的顶部固定连接有吊环，所述真空吸盘主体顶部的右侧连通有抽空管，所述真空吸盘主体两侧的底部均固定连接有吸盘下端定位块，所述吸盘下端定位块的内侧开设有密封圈安装槽，所述吊环的底部与真空吸盘主体顶部的连接处通过安装板固定连接。本实用新型通过设置真空吸盘主体、吊环、抽空管、吸盘下端定位块和密封圈安装槽的相互配合，达到了可以对大小及重量不同石英坩埚进行吊装的优点，解决了石英坩埚在吊装时不会出现受力不均匀，不会导致石英坩埚破裂，不会造成部分隐裂不会导致漏硅事故，减少经济损失和提高生产安全。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体为一种直拉法单晶用真空吸盘。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，在直拉法制备单晶硅工艺中，为缩减生产周期并减少污染，需要将原料预装在石英坩埚内再吊入石墨坩埚。

而在石英坩埚吊装时，需要使用到真空吸盘进行吊装，传统吊装方式，是将紧固式卡扣与石英坩埚进行固定，容易出现受力不均匀或紧固扳手用力过大，导致石英坩埚破裂，容易造成部分隐裂无法发现导致漏硅事故，会带来经济损失和生产安全的隐患。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种直拉法单晶用真空吸盘，具备可以对大小及重量不同石英坩埚进行吊装的优点，以解决上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种直拉法单晶用真空吸盘，包括真空吸盘主体，所述真空吸盘主体的顶部固定连接有吊环，所述真空吸盘主体顶部的右侧连通有抽空管，所述真空吸盘主体两侧的底部均固定连接有吸盘下端定位块，所述吸盘下端定位块的内侧开设有密封圈安装槽。

优选的，所述吊环的底部与真空吸盘主体顶部的连接处通过安装板固定连接，且安装板顶部的两侧均设置有螺栓，且螺栓的底部与真空吸盘主体的顶部固定连接。

优选的，所述抽空管的表面设置有真空阀，且真空阀的右侧设置有流量调节阀，且流量调节阀的右侧固定连接有调节把手。

优选的，所述抽空管的顶部连通有管道接头，且管道接头的内腔设置有内螺纹。

优选的，所述抽空管与管道接头为一体式成型结构，所述吸盘下端定位块与密封圈安装槽为一体式成型结构。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种直拉法单晶用真空吸盘，具备以下有益效果：

1、本实用新型通过设置真空吸盘主体、吊环、抽空管、吸盘下端定位块和密封圈安装槽的相互配合，达到了可以对大小及重量不同石英坩埚进行吊装的优点，解决了石英坩埚在吊装时不会出现受力不均匀，不会导致石英坩埚破裂，不会造成部分隐裂不会导致漏硅事故，减少经济损失和提高生产安全。

2、本实用新型通过设置安装板，对吊环与真空吸盘主体在使用时起到了固定效果好的作用，通过设置真空阀，对抽空管在使用时起到了可以调节气流流量的作用，通过设置密封圈安装槽，对人们在使用密封圈时起到了便于装配的作用。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图中：1、真空吸盘主体；2、吊环；3、抽空管；4、吸盘下端定位块；5、密封圈安装槽。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本实用新型的保护范围有任何的限制作用。