[实用新型]一种激光超声检测的装置

权利要求书

1.一种激光超声检测的装置，其特征在于，包括用于放置样品的检测平台，还包括：

抛光激光器，所述抛光激光器的光路上设有第一反射装置，所述第一反射装置将所述抛光激光器输出的抛光激光反射至样品的待测点上，形成抛光区域；

脉冲激光器，所述脉冲激光器的光路上设有第二反射装置，所述第二反射装置将所述脉冲激光器输出的脉冲激光反射至所述抛光区域上，在所述抛光区域激发出激光超声；

采集装置，用于采集所述激光超声；

工控机，电连接所述采集装置，用于储存并计算处理所述采集装置采集到的激光超声，得到样品内部缺陷检测结果。

2.根据权利要求1所述的激光超声检测的装置，其特征在于，所述第一反射装置包括反射镜和合束镜。

3.根据权利要求2所述的激光超声检测的装置，其特征在于，所述采集装置包括激光干涉仪，所述合束镜设置于所述激光干涉仪的光路上。

4.根据权利要求1所述的激光超声检测的装置，其特征在于，所述第一反射装置包括反射镜。

5.根据权利要求4所述的激光超声检测的装置，其特征在于，所述采集装置包括连续激光器，所述连续激光器的光路上设有第三反射装置，所述第三反射装置将所述连续激光器输出的连续激光反射至所述抛光区域，获得高灵敏度激光超声；

所述高灵敏度激光超声的反射光路上设有光电探头，所述光电探头上电连接有用于采集所述激光超声的数据采集卡，所述数据采集卡电连接所述工控机。

6.根据权利要求1所述的激光超声检测的装置，其特征在于，还包括二维平移台，所述二维平移台包括至少两个驱动装置，所述驱动装置驱动连接所述检测平台。