[实用新型]一种激光超声检测的装置

说明书

本实用新型公开了一种激光检测装置包括用于放置样品的检测平台，还包括：抛光激光器，抛光激光器输出的抛光激光反射至样品的待测点上，形成抛光区域；脉冲激光器，脉冲激光器输出的脉冲激光反射至所述抛光区域上，在所述抛光区域激发出激光超声；采集装置，用于采集所述激光超声；工控机，电连接所述采集装置，用于储存并计算处理所述采集装置采集到的的激光超声，得到样品内部缺陷检测结果。本实用新型提出了一种激光超声检测的装置，能够显著改变探测区域的表面状况，以达到抛光的效果，最终获得理想光滑的表面；检测时只需对探测点进行局部激光抛光即可，不会对样品表面带来严重影响，因此不会影响到探测的速度和效率。

技术领域

本实用新型涉及激光检测技术领域，尤其涉及一种激光超声检测的装置。

背景技术

光超声是一种非接触、高精度、无损伤的新型超声检测技术，该技术接合了超声检测的高精度和光学检测非接触的优点,具有高灵敏度(亚纳米级)、高检测带宽(GHz)的优点。它利用激光脉冲在被检测工件中激发超声波,并用激光束探测超声波的传播,从而获取工件的缺陷。目前该技术的工业应用包括激光焊接焊缝质量在线监控、飞机机身搭接腐蚀检测、风力发电机叶片检测、高温陶瓷、复合材料检测、金属、电子元器件/半导体封装质量检测、种材料涂层缺陷检测等众多领域，同时该技术在各工业领域不停的发展并走向市场。

激光超声最佳检测手段是光学探测。光学探测是非接触式，不会干扰待测超声场，探测点可快速移动，且具有较高的空间分辨率及较宽的频带，传统的压电换能器则难以做到这一点，尤其是在高频段。然而，光学探测技术也有一个明显的缺点，就是当物体的散射非常严重时，其灵敏度一般至少要下降一个数量级。如光偏转法在超声和激光超声的检测中用的很多，但是其缺点是要求镜面反射，在工业中很多的样品表面不是镜面反射，无法进行检测，限制了光偏转在工业领域的应用范围。

目前激光超声无损检测光学探测方法的关键不足之处在于：针对粗糙样品表面的激光超声光学检测灵敏度低，甚至存在无法检测的情况，极大限制了其工业应用的范围，使一些廉价、高效的检测手段只能应用于光滑的样品表面。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种激光超声检测的装置，解决现有技术中的上述问题。

为实现上述目的，本实用新型提供以下的技术方案：

一种激光检测装置，包括用于放置样品的检测平台，还包括：

抛光激光器，所述抛光激光器的光路上设有第一反射装置，所述第一反射装置将所述抛光激光器输出的抛光激光反射至样品的待测点上，形成抛光区域；

脉冲激光器，所述脉冲激光器的光路上设有第二反射装置，所述第二反射装置将所述脉冲激光器输出的脉冲激光反射至所述抛光区域上，在所述抛光区域激发出激光超声；

采集装置，用于采集所述激光超声；

工控机，电连接所述采集装置，用于储存并计算处理所述采集装置采集到的的激光超声，得到样品内部缺陷检测结果。

可选的，所述第一反射装置包括反射镜和合束镜。

可选的，所述采集装置包括激光干涉仪，所述合束镜设置于所述激光干涉仪的光路上。

可选的，所述第一反射装置包括反射镜。

可选的，所述采集装置包括连续激光器，所述连续激光器的光路上设有第三反射装置，所述第三反射装置将所述连续激光器输出的连续激光反射至所述抛光区域，获得高灵敏度激光超声；

所述高灵敏度激光超声的反射光路上设有光电探头，所述光电探头上电连接有用于采集所述激光超声的数据采集卡，所述数据采集卡电连接所述工控机。

可选的，还包括二维平移台，所述二维平移台包括至少两个驱动装置，所述驱动装置驱动连接所述检测平台。