[实用新型]一种等离子刻蚀机的下电极屏蔽装置

权利要求书

1.一种等离子刻蚀机的下电极屏蔽装置，包括屏蔽铝板(1)，其特征在于：所述屏蔽铝板(1)的顶端表面设有限位孔(2)，且屏蔽铝板(1)的底端设置有第一屏蔽绝缘筒(4)，所述第一屏蔽绝缘筒(4)的一侧设置有第二屏蔽绝缘筒(5)，且第一屏蔽绝缘筒(4)与第二屏蔽绝缘筒(5)的内部设置有下电极射频柱(6)，所述下电极射频柱(6)的一端设置有射频头(3)，且下电极射频柱(6)的另一端设置有过渡柱(7)。

2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机的下电极屏蔽装置，其特征在于：所述射频头(3)与限位孔(2)匹配，且射频头(3)与限位孔(2)均设置有三个。

3.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机的下电极屏蔽装置，其特征在于：所述第一屏蔽绝缘筒(4)与第二屏蔽绝缘筒(5)关于下电极射频柱(6)的竖直向中心轴线对称设置，且第一屏蔽绝缘筒(4)与第二屏蔽绝缘筒(5)的周向侧外壁设有卡箍组件(8)。

4.根据权利要求3所述的一种等离子刻蚀机的下电极屏蔽装置，其特征在于：所述卡箍组件(8)包括第一卡块(13)，所述第一卡块(13)的一端连接有第二卡块(14)，且第一卡块(13)与第二卡块(14)的连接处设置有销轴(15)，所述第一卡块(13)与第二卡块(14)的表面均设有定位孔(16)，所述定位孔(16)的内部嵌入设置有紧固螺栓(17)。

5.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机的下电极屏蔽装置，其特征在于：所述过渡柱(7)的底端设置有第一绝缘卡块(9)，所述第一绝缘卡块(9)的一侧设置有第二绝缘卡块(12)，且第一绝缘卡块(9)与第二绝缘卡块(12)的轴截面形状均设置为半圆形。

6.根据权利要求5所述的一种等离子刻蚀机的下电极屏蔽装置，其特征在于：所述第一绝缘卡块(9)与第二绝缘卡块(12)的底端均固定设置有屏蔽板(10)，所述屏蔽板(10)的底端安装有射频电源匹配器(11)。