[实用新型]舟组自动限位装置有效
申请号: | 201922026609.7 | 申请日: | 2019-11-21 |
公开(公告)号: | CN210826348U | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 李阳;李岩;綦宗升;尹嘉琦 | 申请(专利权)人: | 大连连城数控机器股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/458;C23C16/40;H01L31/18 |
代理公司: | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人: | 赵淑梅;李洪福 |
地址: | 116000 辽宁省大连市甘井子区营城*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动 限位 装置 | ||
1.舟组自动限位装置,其特征在于,包括对称设置在舟组行走方向的前后两端的自动限位机构;
所述自动限位机构包括固定在工艺炉腔体底部外壁的安装弯板,所述安装弯板上固定有水平设置的直线滚珠导轨副,且所述直线滚珠导轨副的延伸方向与所述舟组的行走方向平行,所述直线滚珠导轨副的滑块上固定有水平设置的移动式凸轮,所述安装弯板上固定有直动标准气缸,所述直动标准气缸的浮动接头与所述移动式凸轮的一端固定连接;
位于所述移动式凸轮的上方设有竖直穿过所述工艺炉腔体底部的限位导向轴,所述限位导向轴的底端安装有滚轮,所述滚轮与所述移动式凸轮的上表面滚动连接;所述限位导向轴的顶端安装有楔形动限位机构,所述楔形动限位机构包括楔形动限位块,所述舟组的托盘底部固定有与所述楔形动限位块相匹配的楔形定限位块。
2.根据权利要求1所述的舟组自动限位装置,其特征在于:所述楔形动限位机构还包括加工在所述限位导向轴顶端的通孔,所述通孔的轴线与所述舟组的行走方向平行,导向螺杆的一端穿过所述通孔并与所述楔形动限位块螺纹连接,且所述导向螺杆上套接有水平缓冲弹簧,所述水平缓冲弹簧的一端与所述楔形动限位块连接,所述水平缓冲弹簧的另一端与所述限位导向轴连接。
3.根据权利要求1所述的舟组自动限位装置,其特征在于:所述工艺炉腔体底部的内壁和外壁在所述限位导向轴穿过处分别安装有上法兰和下法兰,且所述限位导向轴的外壁与所述工艺炉腔体之间填充有密封填充料。
4.根据权利要求1所述的舟组自动限位装置,其特征在于:所述移动式凸轮的上表面包括下平面、上平面和连接所述下平面和上平面的斜面,且所述斜面与所述下平面和上平面连接处均通过圆弧过渡连接,所述上平面靠近所述浮动接头,且所述移动式凸轮的上表面上加工有凹槽,所述滚轮设置在所述凹槽内与所述凹槽的槽底滚动摩擦。
5.根据权利要求1所述的舟组自动限位装置,其特征在于:所述直动标准气缸通过气缸连接弯板与所述安装弯板固定连接。
6.根据权利要求1所述的舟组自动限位装置,其特征在于:所述安装弯板上固定有感应开关机构,所述感应开关机构包括开关安装弯板,所述开关安装弯板与所述安装弯板固定连接,且其位于所述移动式凸轮上方,所述开关安装弯板上固定有感应式位置开关。
7.根据权利要求1所述的舟组自动限位装置,其特征在于:所述限位导向轴的底端在所述滚轮上方固定有连接法兰面,所述限位导向轴在所述连接法兰面与所述滚轮之间固定有横板,所述横板与所述连接法兰面之间安装有限位缓冲弹簧;所述移动式凸轮的侧壁上固定有连接板,所述连接板呈L形,且所述连接板的水平部与所述横板固定连接,所述连接板的竖直部上固定有导向轴下限位滚轮,所述导向轴下限位滚轮的上表面与所述移动式凸轮的顶部外沿滚动连接。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的