[实用新型]舟组自动限位装置有效
申请号: | 201922026609.7 | 申请日: | 2019-11-21 |
公开(公告)号: | CN210826348U | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 李阳;李岩;綦宗升;尹嘉琦 | 申请(专利权)人: | 大连连城数控机器股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/458;C23C16/40;H01L31/18 |
代理公司: | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人: | 赵淑梅;李洪福 |
地址: | 116000 辽宁省大连市甘井子区营城*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动 限位 装置 | ||
本实用新型公开了舟组自动限位装置,包括对称设置在舟组行走方向前后两端的自动限位机构;所述自动限位机构包括固定在工艺炉腔体底部外壁的安装弯板,所述安装弯板上安装有移动式凸轮,位于所述移动式凸轮的上方设有竖直穿过所述工艺炉腔体底部的限位导向轴,所述限位导向轴的底端安装有滚轮,所述滚轮与所述移动式凸轮的上表面滚动摩擦;所述限位导向轴的顶端安装有楔形动限位机构,所述楔形动限位机构包括楔形动限位块,所述舟组的托盘底部固定有与所述楔形动限位块相匹配的楔形定限位块。本实用新型能够完成精确限位的功能。且减小使用空间,采用移动式凸轮的水平运动使限位导向轴做竖直运动,减少了竖直方向的安装空间,增加了空间的利用率。
技术领域
本实用新型涉及一种限位装置,具体地说是一种舟组自动限位装置。
背景技术
太阳能光伏电池始终向着提高转换效率和降低成本等方面发展。引入新思路、新技术,革新技术路线,优化生产线工艺过程等方面,是提高转换效率和降低成本等方面的重要举措;电池片表面钝化处理技术的优化与革新,一直是电池片设计和工艺技术优化的重中之重。在电池片背面,添加电解质Al2O3钝化层,是表面钝化技术从电场钝化等工艺技术进化过来的,这项技术能够最大化地跨越P-N结的电势梯度,使电子更为稳定地流动,减少电子重组,提高转换效率。
该技术应用在生产线上,保持电池片背面钝化层质量更佳和质量稳定,以及产能最大化,是降低成本、增强市场竞争力的需要。
耗能少、加热速度快、温度均匀性好是在电池片背面,通过化学反应,以ALD法生成Al2O3钝化层的必要条件,也是产能最大化和降低成本等方面的必然要求。
在腔室内,舟组需要与供气匀流装置和抽气腔装置,一起组成密闭的空间。在加热过程中,此密闭空间内被充入微正压的保护性气体;在化学反应及钝化层沉积过程中,需要通过供气匀流装配向密闭空间内充入反应气体;完成反应的气体,需从抽气腔装置排出。在重复的大规模生产中,舟组在腔室内停留位置的精确度,是形成密闭空间的首要条件。目前的工艺炉腔室内并不具有将舟组自动限位的装置,不能保证腔室内反应气体供气匀流装置和抽气腔装置与舟组自动重复闭合、开启功能的精确性、稳定性和重复闭合时的气密性。文中所提到的舟组为金属舟(电池片的载体)和托盘形成的组合体。
实用新型内容
根据上述提出的技术问题,而提供一种舟组自动限位装置。
舟组自动限位装置包括对称设置在舟组行走方向的前后两端的自动限位机构;
所述自动限位机构包括固定在工艺炉腔体底部外壁的安装弯板,所述安装弯板上固定有水平设置的直线滚珠导轨副,且所述直线滚珠导轨副的延伸方向与所述舟组的行走方向平行,所述直线滚珠导轨副的滑块上固定有水平设置的移动式凸轮,所述安装弯板上固定有直动标准气缸,所述直动标准气缸的浮动接头与所述移动式凸轮的一端固定连接;
位于所述移动式凸轮的上方设有竖直穿过所述工艺炉腔体底部的限位导向轴,所述限位导向轴的底端安装有滚轮,所述滚轮与所述移动式凸轮的上表面滚动摩擦;所述限位导向轴的顶端安装有楔形动限位机构,所述楔形动限位机构包括楔形动限位块,所述舟组的托盘底部固定有与所述楔形动限位块相匹配的楔形定限位块。楔形动限位块和楔形定限位块的配合使所述舟组停止运动,限位在反应腔内。
所述楔形动限位机构还包括加工在所述限位导向轴顶端的通孔,所述通孔的轴线与所述舟组的行走方向平行,导向螺杆的一端穿过所述通孔并与所述楔形动限位块螺纹连接,且所述导向螺杆上套接有水平缓冲弹簧,所述水平缓冲弹簧的一端与所述楔形动限位块连接,所述水平缓冲弹簧的另一端与所述限位导向轴连接。水平缓冲弹簧可起到缓冲作用。
所述工艺炉腔体底部的内壁和外壁在所述限位导向轴穿过处分别安装有上法兰和下法兰,且所述限位导向轴的外壁与所述工艺炉腔体之间填充有密封填充料,用于密封反应腔。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的