[实用新型]一种晶圆涂胶显影用抓取手臂有效
| 申请号： | 201922027862.4 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN210514933U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 徐良;史伟言;刘建哲;李京波;夏建白 | 申请（专利权）人： | 黄山博蓝特半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/26;H01L21/683 |
| 代理公司： | 芜湖众汇知识产权代理事务所(普通合伙) 34128 | 代理人： | 曹宏筠 |
| 地址： | 245000 安徽省黄山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 涂胶 显影 抓取 手臂 | ||
1.一种晶圆涂胶显影用抓取手臂，包括手臂本体(100)，所述手臂本体(100)上设置有一组晶圆放置槽(110)；其特征在于：所述手臂本体(100)内设置有主吸气通道(120)，主吸气通道(120)连通有通向各晶圆放置槽(110)下方的分支吸气通道(160)，所述晶圆放置槽(110)内设置有与分支吸气通道(160)连通的吸气孔；所述主吸气通道(120)的两侧分别设置有冷却气体进气口(140)和冷却气体出气口(150)，所述主吸气通道(120)和分支吸气通道(160)的周边设置有冷却腔(130)。
2.如权利要求1所述的晶圆涂胶显影用抓取手臂，其特征在于：所述主吸气通道(120)与真空管路(190)连接；所述冷却气体出气口(150)管道连接设置有气体冷却装置(400)，气体冷却装置(400)的另一端管道连接设置有循环泵(200)，循环泵(200)通过管道与冷却气体进气口(140)连接。
3.如权利要求2所述的晶圆涂胶显影用抓取手臂，其特征在于：所述气体冷却装置(400)与循环泵(200)间还设置有冷却气体存储装置(300)。
4.如权利要求1所述的晶圆涂胶显影用抓取手臂，其特征在于：所述手臂本体(100)上均匀分布有4个晶圆放置槽(110)，所述手臂本体(100)的末端设置有U型缺口(170)，所述手臂本体(100)内部除主吸气通道(120)和分支吸气通道(160)外，其余部分均为冷却腔(130)部分。
5.如权利要求1所述的晶圆涂胶显影用抓取手臂，其特征在于：所述手臂本体(100)为导热金属或陶瓷材料制得。
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