[实用新型]一种晶圆涂胶显影用抓取手臂

说明书

本实用新型公开了一种晶圆涂胶显影用抓取手臂，包括手臂本体，所述手臂本体上设置有一组晶圆放置槽；所述手臂本体的内设置有主吸气通道，主吸气通道连通有通向各晶圆放置槽下方的分支吸气通道，所述晶圆放置槽内设置有与分支吸气通道连通的吸气孔；所述主吸气通道的两侧分别设置有冷却气体进气口和冷却气体出气口，所述主吸气通道和分支吸气通道的周边设置有冷却腔。本实用新型结构简单，能够将手臂及时的冷却，保证晶圆在涂胶显影时不会受手臂过热的影响而造成涂胶、显影不均匀，从而提高晶圆的加工质量，可广泛应用于LED衬底制造领域。

技术领域

本实用新型涉及LED衬底制造领域，尤其是涉及一种晶圆涂胶显影用抓取手臂。

背景技术

随着网络和信息技术的迅猛发展，消费市场对LED显示的需求量日益增加，使得LED显示在国内外如雨后春笋，蓬勃发展，在满足消费市场的同时，国内外各家公司也在积极研究高品质产品给消费者带来一次次视觉上的冲击。目前纳米压印技术还未成熟，国内外市场制作高亮度蓝光LED衬底主要是通过在晶圆表面制作一层黄光胶柱，然后刻蚀需要的形貌，其中工艺核心包括涂胶、曝光、显影等工艺，涂胶、显影工艺均匀性对刻蚀以及后面流程起着决定性作用。

在涂胶和显影的过程中，需要将晶圆放置在手臂上然后送入涂胶机进行涂胶或显影机进行显影，完成后再通过手臂将晶圆取出。在涂胶完成后需要对晶圆进行加热固化，显影时也需要对晶圆进行加热，具有坚膜和防止驻波效应的作用。因此，手臂在取出晶圆时，由于热传导作用，手臂温度发生变化，产生积热。在生产线上频繁的取放晶圆，如果散热不好，就会导致手臂的温度长期处在高于常温的状态下。又由于光刻胶对温度过于敏感，手臂温度升高会导致晶圆局部温度升高，因此，会导致涂胶均匀性变差和整体膜厚增加等问题，影响晶圆的质量。同时，在显影时，由于晶圆局部温度升高，也会影响晶圆的显影均匀性。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种晶圆涂胶显影用抓取手臂，解决现有手臂散热性差，易造成晶圆涂胶均匀性差，膜厚增加的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种晶圆涂胶显影用抓取手臂，包括手臂本体，所述手臂本体上设置有一组晶圆放置槽；所述手臂本体的内设置有主吸气通道，主吸气通道连通有通向各晶圆放置槽下方的分支吸气通道，所述晶圆放置槽内设置有与分支吸气通道连通的吸气孔；所述主吸气通道的两侧分别设置有冷却气体进气口和冷却气体出气口，所述主吸气通道和分支吸气通道的周边设置有冷却腔。

进一步的，所述主吸气通道与真空管路连接；所述冷却气体出气口管道连接设置有气体冷却装置，气体冷却装置的另一端管道连接设置有循环泵，循环泵通过管道与冷却气体进气口连接。

为保证冷却气体充分冷却，所述气体冷却装置与循环泵间还设置有冷却气体存储装置。

为提高手臂本体的散热速度，所述手臂本体上均匀分布有4个晶圆放置槽，所述手臂本体的末端设置有U型缺口，所述手臂本体内部除主吸气通道和分支吸气通道外，其余部分均为冷却腔部分。

优选的，所述手臂本体为导热金属或陶瓷材料制得。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过在手臂本体内设置主吸气通道和分支吸气通道用于抓取和固定晶圆，结构简单，取放方便。所述冷却腔能够快速带走晶圆传递给手臂本体的热量，从而给手臂迅速的降温，使得手臂在抓取下一组晶圆时，手臂温度不会升高，从而保证晶圆在经手臂抓取后不会因为热传导造成晶圆局部温度升高的问题，保证晶圆温度的一致性，使晶圆的涂胶、显影更加的均匀，提高产品的质量。所述手臂本体末端采用U型结构，散热效果更好。同时，气体存储装置能够保证气体供应充足，也能够进一步降低冷却气体的循环频率，保证冷却气体得到充分的冷却。

以下将结合附图和实施例，对本实用新型进行较为详细的说明。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。