[实用新型]一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置有效
| 申请号： | 201922030084.4 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN210765503U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 冯林;李权;张军 | 申请（专利权）人： | 湖北天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/513 | 分类号： | C23C16/513 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 杨文录 |
| 地址： | 433000 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 真空泵 尾排吹扫 装置 | ||
1.一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置，其特征在于：包括弧形管(100)、第一管道(200)和弯管(300)，所述弧形管(100)的右侧壁固定连接所述第一管道(200)，所述第一管道(200)的左侧壁贯穿所述弧形管(100)的内腔右侧壁后与所述弯管(300)的右侧壁螺纹连接，所述弧形管(100)的顶部一体成型连接有连接端(110)，所述连接端(110)的圆周外壁套接有真空卡箍(120)，所述第一管道(200)的右侧壁螺纹连接有第一法兰(210)，所述第一法兰(210)的输出端螺纹连接有手动阀(220)，所述手动阀(220)的顶部通过销轴连接有扳手(230)，所述手动阀(220)的右侧壁通过法兰连接有第二管道(240)，所述第二管道(240)的右侧壁螺纹连接有第二管道(240)，所述第二管道(240)的右侧壁螺纹连接有连接头(250)，所述连接头(250)的右侧壁一体成型连接有螺柱(260)，所述螺柱(260)的圆周外壁螺纹连接有气管连接头(270)，所述气管连接头(270)的右侧壁螺纹连接有气管(280)，所述弯管(300)的底部开设有喷气孔(310)，所述喷气孔(310)的圆周内壁镶嵌有内垫(320)和外网垫(330)。
2.根据权利要求1所述的一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置，其特征在于：所述弧形管(100)的底部一体成型连接有圆弧底。
3.根据权利要求1所述的一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置，其特征在于：所述气管(280)的材质为软性橡胶管，所述气管连接头(270)与所述连接头(250)的连接端套接有橡胶圈。
4.根据权利要求1所述的一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置，其特征在于：所述内垫(320)的前侧壁开设有内垫孔，所述内垫孔均匀排列在所述内垫(320)的左侧壁。
5.根据权利要求1所述的一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置，其特征在于：所述外网垫(330)的圆周外壁粘接有外框，所述外框的圆周内壁粘接有金属丝网。
6.根据权利要求1所述的一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置，其特征在于：所述喷气孔(310)的开口位置向下。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
