[实用新型]一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置

说明书

本实用新型公开的属于机械设备配件技术领域，具体为一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置，包括弧形管、第一管道和弯管，所述弧形管的右侧壁固定连接所述第一管道，所述第一管道的左侧壁贯穿所述弧形管的内腔右侧壁后与所述弯管的右侧壁螺纹连接，该种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置，将装置用真空卡箍与管道密封连接，打开手动阀，足够压力的压缩空气可以将真空管道内的粉尘顺利地吹向燃烧桶，配合弯管，使吹风过程沿内壁弧形上升，可把底部沉积的粉尘同步清理，避免堆积，避免人工清理粉尘的人力消耗和粉尘污染问题，为真空泵提供了良好的抽风的环境，增加真空泵尾排抽风量，延长其使用寿命，减少大笔维修成本。

技术领域

本实用新型涉及机械设备配件技术领域，具体为一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置。

背景技术

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

其中管式PECVD真空泵就是真空泵中的一个分类，PECVD技术是在低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上(即样品放置的托盘)产生辉光放电，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜，PECVD设备主要由真空和压力控制系统、淀积系统、气体及流量控制、系统安全保护系统、计算机控制等部分组成。

现有的真空泵尾排在面对粉尘堵塞情况的情况下，会产生影响抽风量的情况，需要人工进行情况，并在清理的过程中会产生粉尘污染，真空泵的抽风环境不理想，直接影响使用寿命，在维护过程中产生大量的资金浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置，以解决上述背景技术中提出的现有的真空泵尾排在面对粉尘堵塞情况的情况下，会产生影响抽风量的情况，需要人工进行情况，并在清理的过程中会产生粉尘污染，真空泵的抽风环境不理想，直接影响使用寿命，在维护过程中产生大量的资金浪费的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置，包括弧形管、第一管道和弯管，所述弧形管的右侧壁固定连接所述第一管道，所述第一管道的左侧壁贯穿所述弧形管的内腔右侧壁后与所述弯管的右侧壁螺纹连接，所述弧形管的顶部一体成型连接有连接端，所述连接端的圆周外壁套接有真空卡箍，所述第一管道的右侧壁螺纹连接有第一法兰，所述第一法兰的输出端螺纹连接有手动阀，所述手动阀的顶部通过销轴连接有扳手，所述手动阀的右侧壁通过法兰连接有第二管道，所述第二管道的右侧壁螺纹连接有第二管道，所述第二管道的右侧壁螺纹连接有连接头，所述连接头的右侧壁一体成型连接有螺柱，所述螺柱的圆周外壁螺纹连接有气管连接头，所述气管连接头的右侧壁螺纹连接有气管，所述弯管的底部开设有喷气孔，所述喷气孔的圆周内壁镶嵌有内垫和外网垫。

优选的，所述弧形管的底部一体成型连接有圆弧底。

优选的，所述气管的材质为软性橡胶管，所述气管连接头与所述连接头的连接端套接有橡胶圈。

优选的，所述内垫的前侧壁开设有内垫孔，所述内垫孔均匀排列在所述内垫的左侧壁。

优选的，所述外网垫的圆周外壁粘接有外框，所述外框的圆周内壁粘接有金属丝网。

优选的，所述喷气孔的开口位置向下。