[实用新型]卷绕纠偏机构及具有其的卷对卷CVD设备

权利要求书

1.一种卷绕纠偏机构，位于卷对卷CVD设备的加热区之后，用于将位置发生偏移的金属箔材(1)调整至原始位置，其特征在于，所述卷绕纠偏机构包括：

纠偏轴(10)，所述纠偏轴(10)用于设置在所述卷对卷CVD设备的真空腔内；

固定轴(20)，所述固定轴(20)用于设置在所述真空腔内，所述金属箔材(1)经过所述加热区之后依次绕过所述纠偏轴(10)、所述固定轴(20)以及所述卷对卷CVD设备的收料轴(2)；

其中，所述金属箔材(1)搭设在所述纠偏轴(10)上，所述纠偏轴(10)可摆动地设置，以驱动所述金属箔材(1)移动。

2.根据权利要求1所述的卷绕纠偏机构，其特征在于，所述纠偏轴(10)的一端铰接于所述真空腔内，所述纠偏轴(10)的另一端沿竖直方向可移动地设置。

3.根据权利要求2所述的卷绕纠偏机构，其特征在于，所述卷绕纠偏机构还包括：

驱动部(50)，所述驱动部(50)用于设置在所述真空腔内，所述驱动部(50)与所述纠偏轴(10)驱动连接，以驱动所述纠偏轴(10)沿竖直方向摆动。

4.根据权利要求3所述的卷绕纠偏机构，其特征在于，所述卷绕纠偏机构还包括：

控制器(60)，所述控制器(60)与所述驱动部(50)相连接。

5.根据权利要求4所述的卷绕纠偏机构，其特征在于，所述卷绕纠偏机构还包括：

探测器(70)，所述探测器(70)用于设置在所述真空腔内，且位于所述纠偏轴(10)和所述固定轴(20)之间，所述探测器(70)包括至少两个探测头；

其中，所述控制器(60)与所述探测器(70)相连接。

6.根据权利要求5所述的卷绕纠偏机构，其特征在于，所述探测器(70)为光探测器、红外探测器、或超声波探测器。

7.根据权利要求3至6中任一项所述的卷绕纠偏机构，其特征在于，所述卷绕纠偏机构还包括：

导轨，所述导轨沿竖直方向延伸；

滑块，所述滑块设置在所述导轨，所述滑块与所述纠偏轴(10)驱动连接，所述驱动部(50)与所述滑块驱动连接，以使所述驱动部(50)通过所述滑块与所述纠偏轴(10)驱动连接。

8.根据权利要求3至6中任一项所述的卷绕纠偏机构，其特征在于，所述驱动部(50)包括步进电机、电磁铁组或液压控制器。

9.根据权利要求1所述的卷绕纠偏机构，其特征在于，所述固定轴(20)位于所述纠偏轴(10)以及所述收料轴(2)的下方，以压设所述金属箔材(1)。

10.一种卷对卷CVD设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的卷绕纠偏机构、真空腔以及收料轴(2)，所述卷绕纠偏机构的至少部分设置在所述真空腔内。

11.根据权利要求10所述的卷对卷CVD设备，其特征在于，所述收料轴(2)平行于所述固定轴(20)，且当所述纠偏轴(10)处于初始位置时，所述收料轴(2)平行于所述纠偏轴(10)。