[实用新型]卷绕纠偏机构及具有其的卷对卷CVD设备

说明书

本公开涉及卷绕装置技术领域，提出了一种卷绕纠偏机构及具有其的卷对卷CVD设备，卷绕纠偏机构位于卷对卷CVD设备的加热区之后，用于将位置发生偏移的金属箔材调整至原始位置，卷绕纠偏机构包括纠偏轴和固定轴，纠偏轴用于设置在卷对卷CVD设备的真空腔内；固定轴用于设置在真空腔内，金属箔材经过加热区之后依次绕过纠偏轴、固定轴以及卷对卷CVD设备的收料轴；其中，金属箔材搭设在纠偏轴上，纠偏轴可摆动地设置，以驱动金属箔材移动。通过纠偏轴带动位置发生偏移的金属箔材移动，即金属箔材受到的作用力方向会发生变化，在收料轴的拉动作用下，位置发生偏移的金属箔材会逐渐恢复到原始位置。

技术领域

本公开涉及卷绕装置技术领域，尤其涉及一种卷绕纠偏机构及具有其的卷对卷CVD设备。

背景技术

石墨烯是一种由碳原子构成的二维原子晶体材料，具有优异的力学、热学、光学、电学等性能，在先进材料和能源等领域具有广阔的应用前景。

采用卷对卷CVD法可实现石墨烯薄膜材料的连续批量化制备。在非加热卷绕过程中，当保持放料轴与收料轴平行、放料端箔材卷绕整齐时，即使无纠偏装置也可实现稳定无偏卷绕。然而在CVD生长过程中，由于基底箔材经过高温区、弹性模量下降，因此容易产生极微小的变形，在卷绕过程中会发生明显偏移，影响箔材及石墨烯薄膜品质，甚至当偏移过大时，可能造成箔材断裂，导致卷对卷生长中止。

实用新型内容

本公开的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种卷绕纠偏机构及具有其的卷对卷CVD设备。

根据本实用新型的第一个方面，提供了一种卷绕纠偏机构，位于卷对卷CVD设备的加热区之后，用于将位置发生偏移的金属箔材调整至原始位置，卷绕纠偏机构包括：

纠偏轴，纠偏轴用于设置在卷对卷CVD设备的真空腔内；

固定轴，固定轴用于设置在真空腔内，金属箔材经过加热区之后依次绕过纠偏轴、固定轴以及卷对卷CVD设备的收料轴；

其中，金属箔材搭设在纠偏轴上，纠偏轴可摆动地设置，以驱动金属箔材移动。

在本实用新型的一个实施例中，纠偏轴的一端铰接于真空腔内，纠偏轴的另一端沿竖直方向可移动地设置。

在本实用新型的一个实施例中，卷绕纠偏机构还包括：

驱动部，驱动部用于设置在真空腔内，驱动部与纠偏轴驱动连接，以驱动纠偏轴沿竖直方向摆动。

在本实用新型的一个实施例中，卷绕纠偏机构还包括：

控制器，控制器与驱动部相连接。

在本实用新型的一个实施例中，卷绕纠偏机构还包括：

探测器，探测器用于设置在真空腔内，且位于纠偏轴和固定轴之间，探测器包括至少两个探测头；

其中，控制器与探测器相连接。

在本实用新型的一个实施例中，探测器为光探测器、红外探测器、或超声波探测器。

在本实用新型的一个实施例中，卷绕纠偏机构还包括：

导轨，导轨沿竖直方向延伸；

滑块，滑块设置在导轨，滑块与纠偏轴驱动连接，驱动部与滑块驱动连接，以使驱动部通过滑块与纠偏轴驱动连接。

在本实用新型的一个实施例中，驱动部包括步进电机、电磁铁组或液压控制器。

在本实用新型的一个实施例中，固定轴位于纠偏轴以及收料轴的下方，以压设金属箔材。

根据本实用新型的第二个方面，提供了一种卷对卷CVD设备，包括上述的卷绕纠偏机构、真空腔以及收料轴，卷绕纠偏机构的至少部分设置在真空腔内。