[实用新型]一种吸盘、吸盘组件及承载设备有效

专利信息
申请号: 201922038405.5 申请日: 2019-11-22
公开(公告)号: CN211045404U 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 赵赞良 申请(专利权)人: 宁夏隆基乐叶科技有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/687
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人: 莎日娜
地址: 750021 宁夏回族自治区银川市经*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要:
搜索关键词: 一种 吸盘 组件 承载 设备
【权利要求书】:

1.一种吸盘,其特征在于,包括:吸盘本体、限位组件和吸嘴;其中,

所述吸盘本体包括相对设置的第一表面和第二表面,所述限位组件和所述吸嘴设置在所述第一表面上;

所述限位组件包括限位柱、支撑杆和旋转轴,所述限位柱固定在所述支撑杆上,所述支撑杆固定在所述旋转轴上,所述旋转轴可旋转地设置在所述吸盘本体上;

所述限位柱与所述第一表面具有间隔,所述限位柱远离所述吸盘本体的一侧为第三侧,所述旋转轴远离所述吸盘本体的一侧为第四侧,所述第三侧距所述第一表面的距离,大于所述第四侧距所述第一表面的距离;

所述吸嘴上吸附的硅片远离所述吸盘本体的一侧为第五侧,所述第三侧距所述第一表面的距离,大于所述第五侧距所述第一表面的距离。

2.根据权利要求1所述的吸盘,其特征在于,所述支撑杆与所述第一表面之间设置有复位件。

3.根据权利要求2所述的吸盘,其特征在于,所述限位柱有两个,两个所述限位柱设置在所述支撑杆的两端,所述支撑杆的中部固定在所述旋转轴上。

4.根据权利要求3所述的吸盘,其特征在于,所述复位件为四个,四个所述复位件相对于所述旋转轴两两对称设置。

5.根据权利要求2所述的吸盘,其特征在于,所述复位件为复位弹簧。

6.一种吸盘组件,其特征在于,所述吸盘组件包括:固定轴、以及多个平行间隔设置的吸盘;其中,所述吸盘为权利要求1-5任一项所述的吸盘;

每个所述吸盘上均设置有通孔,所述固定轴依次穿设每个所述通孔。

7.根据权利要求6所述的吸盘组件,其特征在于,所述吸盘组件还包括:多个限位件和多个弹性件;其中,

相邻的两个所述吸盘之间设置有一个所述限位件和一个所述弹性件。

8.根据权利要求7所述的吸盘组件,其特征在于,所述限位件为限位块,或者光电限位感应器。

9.根据权利要求7所述的吸盘组件,其特征在于,所述弹性件为限位弹簧,或者塑料弹性体。

10.一种承载设备,其特征在于,所述承载设备包括:承载工装和如权利要求6-9任一项所述的吸盘组件;其中,

所述承载工装包括多个卡槽,所述吸盘组件的每个所述吸盘对应一个所述卡槽。

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