[实用新型]一种吸盘、吸盘组件及承载设备有效
申请号: | 201922038405.5 | 申请日: | 2019-11-22 |
公开(公告)号: | CN211045404U | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 赵赞良 | 申请(专利权)人: | 宁夏隆基乐叶科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/687 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 莎日娜 |
地址: | 750021 宁夏回族自治区银川市经*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 吸盘 组件 承载 设备 | ||
1.一种吸盘,其特征在于,包括:吸盘本体、限位组件和吸嘴;其中,
所述吸盘本体包括相对设置的第一表面和第二表面,所述限位组件和所述吸嘴设置在所述第一表面上;
所述限位组件包括限位柱、支撑杆和旋转轴,所述限位柱固定在所述支撑杆上,所述支撑杆固定在所述旋转轴上,所述旋转轴可旋转地设置在所述吸盘本体上;
所述限位柱与所述第一表面具有间隔,所述限位柱远离所述吸盘本体的一侧为第三侧,所述旋转轴远离所述吸盘本体的一侧为第四侧,所述第三侧距所述第一表面的距离,大于所述第四侧距所述第一表面的距离;
所述吸嘴上吸附的硅片远离所述吸盘本体的一侧为第五侧,所述第三侧距所述第一表面的距离,大于所述第五侧距所述第一表面的距离。
2.根据权利要求1所述的吸盘,其特征在于,所述支撑杆与所述第一表面之间设置有复位件。
3.根据权利要求2所述的吸盘,其特征在于,所述限位柱有两个,两个所述限位柱设置在所述支撑杆的两端,所述支撑杆的中部固定在所述旋转轴上。
4.根据权利要求3所述的吸盘,其特征在于,所述复位件为四个,四个所述复位件相对于所述旋转轴两两对称设置。
5.根据权利要求2所述的吸盘,其特征在于,所述复位件为复位弹簧。
6.一种吸盘组件,其特征在于,所述吸盘组件包括:固定轴、以及多个平行间隔设置的吸盘;其中,所述吸盘为权利要求1-5任一项所述的吸盘;
每个所述吸盘上均设置有通孔,所述固定轴依次穿设每个所述通孔。
7.根据权利要求6所述的吸盘组件,其特征在于,所述吸盘组件还包括:多个限位件和多个弹性件;其中,
相邻的两个所述吸盘之间设置有一个所述限位件和一个所述弹性件。
8.根据权利要求7所述的吸盘组件,其特征在于,所述限位件为限位块,或者光电限位感应器。
9.根据权利要求7所述的吸盘组件,其特征在于,所述弹性件为限位弹簧,或者塑料弹性体。
10.一种承载设备,其特征在于,所述承载设备包括:承载工装和如权利要求6-9任一项所述的吸盘组件;其中,
所述承载工装包括多个卡槽,所述吸盘组件的每个所述吸盘对应一个所述卡槽。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造