[实用新型]一种吸盘、吸盘组件及承载设备有效
申请号: | 201922038405.5 | 申请日: | 2019-11-22 |
公开(公告)号: | CN211045404U | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 赵赞良 | 申请(专利权)人: | 宁夏隆基乐叶科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/687 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 莎日娜 |
地址: | 750021 宁夏回族自治区银川市经*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 吸盘 组件 承载 设备 | ||
本实用新型提供了一种吸盘、吸盘组件及承载设备,所述吸盘包括:吸盘本体、限位组件和吸嘴,限位组件包括限位柱、支撑杆和旋转轴,限位柱固定在支撑杆上,支撑杆固定在旋转轴上,旋转轴可旋转地设置在吸盘本体上,当吸盘靠近承载工装时,限位柱可以限制硅片距承载工装之间的距离,以保证硅片与承载工装之间具有一定的间隙,防止硅片被承载工装划伤,本实用新型实施例提供的吸盘,无论承载工装是否发生变形,限位柱均能起到限位硅片距承载工装距离的作用,在硅片从承载工装中插卸的过程中,均不会对硅片造成划伤,并且限位柱也不会对承载工装造成划伤,提高了承载工装的使用寿命。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域,特别是涉及一种吸盘、吸盘组件及承载设备。
背景技术
在晶体硅太阳能电池硅片的制造过程中,太阳能电池硅片通常由承载工装承载后再进行加工处理。通常,为了提高插片的效率,避免硅片受到污染,硅片在承载工装(例如石墨舟)上插取的过程需要用到吸盘组件。
现有技术中,一个吸盘组件由多个平行间隔设置的吸盘组成,吸盘上的吸嘴吸附硅片后,插入石墨舟中。
在插取过程中,对石墨舟片间的间距和吸盘间的间距的精度要求都很高,不然硅片在插取过程中与石墨舟中的石墨舟片容易发生磨损。
另外,由于石墨材质随着使用时间的推移,石墨舟极易发生变形,导致吸盘组件无法与变形后的石墨舟匹配,硅片在插入至石墨舟或者从石墨舟中取出的过程中,极易划伤。必须重新校准之后,石墨舟才能继续使用。而校准会大大影响到车间的生产效率,同时校准过程都是人工操作,操作过程极易损坏石墨舟,造成不必要的损失。
实用新型内容
有鉴于此,为了解决硅片在插取过程中极易划伤,以及校准过程中极易损坏石墨舟的问题,本实用新型提供了一种吸盘、吸盘组件及承载设备。
为了解决上述问题,本实用新型公开了一种吸盘,包括:吸盘本体、限位组件和吸嘴;其中,
所述吸盘本体包括相对设置的第一表面和第二表面,所述限位组件和所述吸嘴设置在所述第一表面上;
所述限位组件包括限位柱、支撑杆和旋转轴,所述限位柱固定在所述支撑杆上,所述支撑杆固定在所述旋转轴上,所述旋转轴可旋转地设置在所述吸盘本体上;
所述限位柱与所述第一表面具有间隔,所述限位柱远离所述吸盘本体的一侧为第三侧,所述旋转轴远离所述吸盘本体的一侧为第四侧,所述第三侧距所述第一表面的距离,大于所述第四侧距所述第一表面的距离;
所述吸嘴上吸附的硅片远离所述吸盘本体的一侧为第五侧,所述第三侧距所述第一表面的距离,大于所述第五侧距所述第一表面的距离。
可选的,所述支撑杆与所述第一表面之间设置有复位件。
可选的,所述限位柱有两个,两个所述限位柱设置在所述支撑杆的两端,所述支撑杆的中部固定在所述旋转轴上。
可选的,所述复位件为四个,四个所述复位件相对于所述旋转轴两两对称设置。
可选的,所述复位件为复位弹簧。
另一方面,本实用新型还公开了一种吸盘组件,所述吸盘组件包括:固定轴、以及多个平行间隔设置的吸盘;其中,所述吸盘为上述的吸盘;
每个所述吸盘上均设置有通孔,所述固定轴依次穿设每个所述通孔。
可选的,所述吸盘组件还包括:多个限位件和多个弹性件;其中,
相邻的两个所述吸盘之间设置有一个所述限位件和一个所述弹性件。
可选的,所述限位件为限位块,或者光电限位感应器。
可选的,所述弹性件为限位弹簧,或者塑料弹性体。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造