[实用新型]超薄芯片的封装结构有效
申请号: | 201922045349.8 | 申请日: | 2019-11-21 |
公开(公告)号: | CN210956646U | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 魏瑀;滕乙超;刘东亮 | 申请(专利权)人: | 浙江荷清柔性电子技术有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/29;H01L23/48 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 尚伟净 |
地址: | 310018 浙江省杭州市经济技术开发*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 超薄 芯片 封装 结构 | ||
1.一种超薄芯片的封装结构,其特征在于,包括:
布线层;
柔性线路板介质层,所述柔性线路板介质层设置在所述布线层的表面上,且设置有开槽和通孔,其中,所述柔性线路板介质层的材料为聚酰亚胺;
超薄芯片,所述超薄芯片设置在所述开槽内,且所述超薄芯片的边缘与所述开槽的内壁之间具有间隙;
柔性覆盖膜,所述柔性覆盖膜设置在所述超薄芯片远离所述布线层的表面上,并填充所述间隙;
连接电极,所述连接电极通过所述通孔将所述超薄芯片和所述布线层电连接。
2.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,还包括:
至少一个铜柱凸块,至少一个所述铜柱凸块设置在所述超薄芯片远离所述布线层的表面上,所述连接电极通过所述通孔将所述铜柱凸块和所述布线层电连接。
3.根据权利要求2所述的封装结构,其特征在于,所述铜柱凸块远离所述布线层的表面与所述柔性覆盖膜远离所述布线层的表面齐平。
4.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述间隙的宽度为0.1~0.5mm。
5.根据权利要求1或2所述的封装结构,其特征在于,每一个所述开槽内对应只设置一个所述超薄芯片。
6.根据权利要求1或2所述的封装结构,其特征在于,进一步包括:
粘结膜,所述粘结膜设置在所述超薄芯片靠近所述布线层的表面上。
7.根据权利要求1或2所述的封装结构,其特征在于,进一步包括:
第一保护层,所述第一保护层覆盖所述连接电极、所述柔性覆盖膜和所述柔性线路板介质层远离所述布线层的表面。
8.根据权利要求7所述的封装结构,其特征在于,进一步包括:
第二保护层,所述第二保护层覆盖所述布线层远离所述超薄芯片的表面,以及所述柔性线路板介质层远离所述第一保护层且未被所述布线层覆盖的表面。
9.根据权利要求7所述的封装结构,其特征在于,所述第一保护层具有开口,所述开口暴露所述连接电极的至少一部分表面,所述超薄芯片的封装结构进一步包括:
金属层,所述金属层设置在所述开口内。
10.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述连接电极的厚度为1~10微米。
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