[实用新型]一种镀膜装置有效
申请号: | 201922048210.9 | 申请日: | 2019-11-25 |
公开(公告)号: | CN211112180U | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 韩彬;王莉虹;石峰;赵楠;夏宇东;叶菁;孟红旗 | 申请(专利权)人: | 西安北方光电科技防务有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 西安吉盛专利代理有限责任公司 61108 | 代理人: | 江琴贤 |
地址: | 710043 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镀膜 装置 | ||
1.一种镀膜装置,其特征在于,包括:
连接架(3);
第二遮蔽部件(2),第二遮蔽部件(2)中部具有通孔;
第一遮蔽部件(1),第一遮蔽部件(1)小于所述通孔;
第一遮蔽部件(1)位于所述通孔内,第一遮蔽部件(1)和第二遮蔽部件(2)之间形成闭环间隙,连接架(3)位于远离所述闭环间隙的一位置,连接架(3)沿所述闭环间隙一端开口到另一端开口的方向,连接架(3)分别向第一遮蔽部件(1)和第二遮蔽部件(2)延伸,第一遮蔽部件(1)通过连接架(3)和第二遮蔽部件(2)连接。
2.如权利要求1所述一种镀膜装置,其特征在于,所述连接架(3)包括支杆(29)、顶杆(26)和桥架(30),支杆(29)位于第二遮蔽部件(2)底部,支杆(29)位于所述闭环间隙外,支杆(29)与所述闭环间隙一端开口到另一端开口的方向平行,顶杆(26)位于第一遮蔽部件(1)底部,顶杆(26)位于所述闭环间隙外,顶杆(26)与所述闭环间隙一端开口到另一端开口的方向平行,支杆(29)一端与第二遮蔽部件(2)连接,另一端与桥架(30)连接,顶杆(26)一端与第一遮蔽部件(1)连接,另一端与桥架(30)连接。
3.如权利要求2所述一种镀膜装置,其特征在于,所述桥架(30)具有第一支杆孔(20)和第一中轴孔(21),第一支杆孔(20)位于桥架(30)端部,第一中轴孔(21)位于桥架(30)中部,第二遮蔽部件(2)具有第二支杆孔(22),第二支杆孔(22)位于第二遮蔽部件(2)端部,支杆(29)一端与第一支杆孔(20)连接,另一端与第二支杆孔(22)连接;第一遮蔽部件(1)中心具有第二中轴孔(18),第一中轴孔(21)通过顶杆(26)与第二中轴孔(18)连接。
4.如权利要求3所述一种镀膜装置,其特征在于,所述第二遮蔽部件(2)上具有两个第二支杆孔(22),两个第二支杆孔(22)对称分布在第二遮蔽部件(2)两侧。
5.如权利要求3所述一种镀膜装置,其特征在于,所述第一中轴孔(21)和顶杆(26)之间还具有中轴(28),中轴(28)分为圆柱本体、连接耳和半圆柱本体,所述圆柱本体一端和所述半圆柱本体一端固定,所述圆柱本体另一端和所述连接耳固定,沿所述圆柱本体的轴向方向,所述半圆柱本体的矩形表面中部具有半圆柱体状凹槽,所述圆柱本体和第一中轴孔(21)间隙配合,所述圆柱本体通过底部通过所述连接耳与桥架(30)固定连接;顶杆(26)与中轴(28)的连接一端为半圆柱体状,顶杆(26)与中轴(28)连接的一端与所述半圆柱体状凹槽形状匹配,顶杆(26)与中轴(28)连接的一端位于所述半圆柱体状凹槽内,顶杆(26)外具有压板(27),所述半圆柱本体通过压板(27)与顶杆(26)固定连接。
6.如权利要求5所述一种镀膜装置,其特征在于,所述压板(27)和所述半圆柱本体通过多个螺钉固定连接。
7.如权利要求1所述一种镀膜装置,其特征在于,所述第一遮蔽部件(1)中心具有第二中轴孔(18),所述第二中轴孔(18)旁具有第一定位孔(17),所述第一遮蔽部件(1)通过所述第二中轴孔(18)和第一定位孔(17)连接,所述连接架(3)上具有顶杆(26),顶杆(26)的一端固定有中轴销,所述中轴销底部的一侧具有位于顶杆(26)上的第二定位孔,所述中轴销套在第二中轴孔(18)内,第一定位孔(17)和所述第二定位孔销接,所述第一遮蔽部件(1)通过顶杆(26)与连接架(3)固定连接。
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