[实用新型]一种石英舟

权利要求书

1.一种石英舟，包括：

相对设置的两个连接板(1)；及

连接于两个所述连接板(1)之间的底部支撑部，所述底部支撑部上沿其长度方向设置有多个第一卡槽，所述第一卡槽能够同时容纳两张硅片(4)，其特征在于，所述石英舟还包括：

相对设置的两个侧部支撑杆，连接于两个所述连接板(1)之间，两个所述侧部支撑杆中的一个上沿其长度方向设置有多个第二卡槽(211)，另一个沿其长度方向设置有多个第三卡槽，所述第二卡槽(211)和所述第三卡槽沿所述侧部支撑杆的长度方向错开设置，以使位于同一所述第一卡槽内的两张所述硅片(4)中的一张卡入所述第二卡槽(211)内、另一张卡入所述第三卡槽内。

2.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，每个所述第一卡槽均对应设置有一个所述第二卡槽(211)和一个所述第三卡槽。

3.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述第一卡槽位于对应的所述第二卡槽(211)和所述第三卡槽之间。

4.如权利要求3所述的石英舟，其特征在于，沿所述侧部支撑杆的长度方向，所述第一卡槽位于对应的所述第二卡槽(211)和所述第三卡槽的中点。

5.如权利要求3所述的石英舟，其特征在于，所述第二卡槽(211)由下至上向远离对应的所述第一卡槽的方向倾斜，所述第三卡槽由下至上向远离对应的所述第一卡槽的方向倾斜。

6.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述第一卡槽沿平行于所述连接板(1)的方向与所述第二卡槽(211)或所述第三卡槽正对。

7.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，相邻的两个所述第一卡槽内相邻的两张所述硅片(4)的顶部相互抵靠。

8.如权利要求1-7中任一项所述的石英舟，其特征在于，所述底部支撑部包括：

相对设置的两个底部支撑杆，所述底部支撑杆连接两个所述连接板(1)，所述底部支撑杆上沿其长度方向设置有多个凹槽(311)，两个所述底部支撑杆上对应的所述凹槽(311)形成所述第一卡槽。

9.如权利要求8所述的石英舟，其特征在于，所述凹槽(311)沿靠近两个所述底部支撑杆的中心方向向下倾斜设置。

10.如权利要求1-7中任一项所述的石英舟，其特征在于，所述第一卡槽沿所述底部支撑部的长度方向的两个侧壁倾斜设置，以使所述第一卡槽的开口外扩。