[实用新型]一种石英舟

说明书

本实用新型涉及太阳能电池片加工技术领域，尤其涉及一种石英舟。石英舟包括相对设置的两个连接板及连接于两个所述连接板之间的底部支撑部，所述底部支撑部上沿其长度方向设置有多个第一卡槽，所述第一卡槽能够同时容纳两张硅片，所述石英舟还包括相对设置的两个侧部支撑杆，连接于两个所述连接板之间，两个所述侧部支撑杆中的一个上沿其长度方向设置有多个第二卡槽，另一个沿其长度方向设置有多个第三卡槽，所述第二卡槽和所述第三卡槽沿所述侧部支撑杆的长度方向错开设置，以使位于同一所述第一卡槽内的两张硅片中的一张卡入所述第二卡槽内、另一张卡入所述第三卡槽内。该石英舟可以在不影响石英舟承载硅片数量的基础上，实现硅片双面扩散。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片加工技术领域，尤其涉及一种石英舟。

背景技术

太阳能电池片在加工过程中，硅片放置于石英舟内进行扩散。传统的扩散工艺中，硅片进行单面扩散，两片硅片背面贴紧后插入同一卡槽内，以使硅片的单面与扩散气体接触。

随着太阳能电池片产能以及质量的提高，硅片在加工过程中进行双面沉积有利于提高电池效率以及良品率。现有技术中，一般采用单槽单片的方向放置硅片，即石英舟的每个卡槽内插入一张硅片，这样虽然能够实现硅片的双面扩散沉积，但是降低了石英舟的承载量，进而降低了扩散效率。

因此，亟需一种石英舟以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种石英舟，可以在实现硅片双面扩散的基础上解决现有技术中石英舟的承载量低的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种石英舟，包括：

相对设置的两个连接板；及

连接于两个所述连接板之间的底部支撑部，所述底部支撑部上沿其长度方向设置有多个第一卡槽，所述第一卡槽能够同时容纳两张硅片，所述石英舟还包括：

相对设置的两个侧部支撑杆，连接于两个所述连接板之间，两个所述侧部支撑杆中的一个上沿其长度方向设置有多个第二卡槽，另一个沿其长度方向设置有多个第三卡槽，所述第二卡槽和所述第三卡槽沿所述侧部支撑杆的长度方向错开设置，以使位于同一所述第一卡槽内的两张所述硅片中的一张卡入所述第二卡槽内、另一张卡入所述第三卡槽内。

其中，每个所述第一卡槽均对应设置有一个所述第二卡槽和一个所述第三卡槽。

其中，所述第一卡槽位于对应的所述第二卡槽和所述第三卡槽之间。

其中，沿所述侧部支撑杆的长度方向，所述第一卡槽位于对应的所述第二卡槽和所述第三卡槽的中点。

其中，所述第二卡槽由下至上向远离对应的所述第一卡槽的方向倾斜，所述第三卡槽由下至上向远离对应的所述第一卡槽的方向倾斜。

其中，所述第一卡槽沿平行于所述连接板的方向与所述第二卡槽或所述第三卡槽正对。

其中，相邻的两个所述第一卡槽内相邻的两张所述硅片的顶部相互抵靠。

其中，所述底部支撑部包括：

相对设置的两个底部支撑杆，所述底部支撑杆连接两个所述连接板，所述底部支撑杆上沿其长度方向设置有多个凹槽，两个所述底部支撑杆上对应的所述凹槽形成所述第一卡槽。

其中，所述凹槽沿靠近两个所述底部支撑杆的中心方向向下倾斜设置。

其中，所述第一卡槽沿所述底部支撑部的长度方向的两个侧壁倾斜设置，以使所述第一卡槽的开口外扩。

有益效果：