[实用新型]排气装置及半导体设备

权利要求书

1.一种排气装置，应用于半导体设备，其特征在于，包括排气管道、阀门及第一检测组件，其中：

所述排气管道连通所述半导体设备的工艺腔室和尾气处理装置；

所述阀门设置于所述排气管道上；

所述第一检测组件设置于所述排气管道上，且位于所述阀门与所述尾气处理装置之间，用于检测所述排气管道内的气体压力值或气体流量值。

2.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，还包括保护管道和控制器；

所述保护管道的一端与所述排气管路位于所述阀门与所述工艺腔室之间的部分连通，所述保护管道的另一端与所述排气管路位于所述阀门与所述尾气处理装置之间的部分连通，所述保护管道上设有通断开关；

所述控制器与所述第一检测组件及所述通断开关连接，用于在所述第一检测组件检测到的所述气体压力值或气体流量值小于等于第一阈值时，控制所述通断开关导通。

3.根据权利要求2所述的排气装置，其特征在于，还包括第二检测组件，所述第二检测组件设置于所述排气管道上，且位于所述工艺腔室与所述阀门之间，用于检测所述排气管道内的气体压力值或气体流量值。

4.根据权利要求1-3任一项所述的排气装置，其特征在于，所述第一检测组件靠近所述阀门设置。

5.根据权利要求2所述的排气装置，其特征在于，所述控制器还用于，根据第一检测组件检测到的气体压力值或气体流量值与所述预设压力值或预设流量值的关系确定所述阀门是否堵塞。

6.根据权利要求5所述的排气装置，其特征在于，所述控制器还用于，在所述第一检测组件检测到的气体压力值或气体流量值小于等于所述第一阈值时，确定所述阀门已经堵塞。

7.根据权利要求6所述的排气装置，其特征在于，所述控制器还用于，在所述通断开关导通后，所述第一检测组件检测到的气体压力值或气体流量值仍然小于等于所述第一阈值时，确定所述保护管道也已经堵塞。

8.根据权利要求6所述的排气装置，其特征在于，所述控制器还用于，在确定所述阀门已经堵塞后，发出阀门清理提示信息。

9.根据权利要求7所述的排气装置，其特征在于，所述控制器还用于，在确定所述保护管道也已经堵塞后，发出安全报警信息。

10.一种半导体设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的排气装置。