[实用新型]坩埚盖板

权利要求书

1.一种坩埚盖板，其特征在于，包括底板和环绕固定于所述底板周边的支撑板，所述底板上开设有导气孔，所述支撑板包括分别与所述底板边缘固定连接的多个支撑部，相邻的两个支撑部固定连接，每个所述支撑部与所述底板倾斜连接，且每个所述支撑部与水平面之间的夹角小于90°。

2.如权利要求1所述的坩埚盖板，其特征在于，所述夹角为15～50°。

3.如权利要求1所述的坩埚盖板，其特征在于，所述支撑部的竖直高度为20mm～100mm。

4.如权利要求1所述的坩埚盖板，其特征在于，所述底板为正方形，所述支撑板设置四个所述支撑部，四个所述支撑部分别与所述底板的四个边缘固定连接。

5.如权利要求1所述的坩埚盖板，其特征在于，所述导气孔位于所述底板的中心位置。

6.如权利要求1所述的坩埚盖板，其特征在于，所述坩埚盖板采用碳碳纤维或石墨材料制备。

7.如权利要求1所述的坩埚盖板，其特征在于，所述底板和所述支撑部的至少一侧面分布均匀分布有多个加强筋。

8.如权利要求7所述的坩埚盖板，其特征在于，所述底板的一侧表面设置四个所述加强筋，且分别设置在该底板的两条中心线上，每个所述支撑部的一侧表面设置三个平行的所述加强筋，且分别垂直于与所述底板的边缘。

9.如权利要求1所述的坩埚盖板，其特征在于，所述底板和所述支撑板一体成型。