[实用新型]坩埚盖板

说明书

一种坩埚盖板，包括底板和环绕固定于所述底板周边的支撑板，所述底板上开设有导气孔，所述支撑板包括分别与所述底板边缘固定连接的多个支撑部，相邻的两个支撑部固定连接，每个所述支撑部与所述底板倾斜连接，且每个所述支撑部与水平面之间的夹角小于90°。本实用新型中的坩埚盖板通过倾斜设置的支撑板起到良好的气体分流的作用，可降低硅蒸汽对盖板的热冲击力，避免盖板变形，增加了盖板使用寿命，同时能够降低硅锭中碳杂质的引入，提高硅片转换效率。

技术领域

本实用新型涉及多晶铸锭技术领域，特别是涉及一种坩埚盖板。

背景技术

多晶铸锭一般采用多晶铸锭炉进行制备，多晶铸锭炉热场一般包含隔热笼、加热器、碳碳保温板、热交换平台、盖板、石墨护板和石墨底板等，多晶铸锭投炉前，需将石英坩埚置于石墨底板上，装料完成后，在石英坩埚外侧装有石墨护板，投炉时，将盖板盖在石英坩埚顶部，以防止运行过程中产生的杂质落入石英坩埚内部污染硅料，影响产品质量。

传统的坩埚盖板一般为平板结构，盖板紧贴石英坩埚和护板顶部，其存在如下缺点：

随着多晶铸锭投炉量的增加，硅料熔化过程中，盖板容易与硅液接触及在铸锭过程中硅蒸汽的热冲击，会有大量碳杂质引入硅锭中从而降低产品品质，同时会导致盖板变形拉弧，盖板使用寿命降低，从而增加多晶铸锭辅材成本。

实用新型内容

鉴于上述状况，有必要针对现有技术中坩埚盖板容易受到热冲击容易引入杂质和致使盖板变形的问题提供一种坩埚盖板。

一种坩埚盖板，包括底板和环绕固定于所述底板周边的支撑板，所述底板上开设有导气孔，所述支撑板包括分别与所述底板边缘固定连接的多个支撑部，相邻的两个支撑部固定连接，每个所述支撑部与所述底板倾斜连接，且每个所述支撑部与水平面之间的夹角小于90°

进一步的，上述坩埚盖板，其中，所述夹角为15～50°。

进一步的，上述坩埚盖板，其中，所述支撑部的竖直高度为20mm～100mm。

进一步的，上述坩埚盖板，其中，所述底板为正方形，所述支撑板设置四个所述支撑部，四个所述支撑部分别与所述底板的四个边缘固定连接。

进一步的，上述坩埚盖板，其中，所述导气孔位于所述底板的中心位置。

进一步的，上述坩埚盖板，其中，所述坩埚盖板采用碳碳纤维或石墨材料制备。

进一步的，上述坩埚盖板，其中，所述底板和所述支撑部的至少一侧面分布均匀分布有多个加强筋。

进一步的，上述坩埚盖板，其中，所述底板的一侧表面设置四个所述加强筋，且分别设置在该底板的两条中心线上，每个所述支撑部的一侧表面设置三个平行的所述加强筋，且分别垂直于与所述底板的边缘。

进一步的，上述坩埚盖板，其中，所述底板和所述支撑板一体成型。

本实用新型中的坩埚盖板的顶部距离坩埚表面有一定的高度，可避免坩埚盖板与坩埚内的硅料接触，且，该坩埚盖板通过倾斜设置的支撑板起到良好的气体分流的作用，可降低硅蒸汽对盖板的热冲击力，避免盖板变形，增加了盖板使用寿命，同时能够降低硅锭中碳杂质的引入，提高硅片转换效率。

附图说明

图1为本实用新型第一实施例中的坩埚盖板的俯视结构示意图；

图2为本实用新型第一实施例中的坩埚盖板的剖视图；

图3为本实用新型第三实施例中的坩埚盖板的俯视结构示意图。

主要元件符号说明