[实用新型]一种离子注入机用高性能低温泵

权利要求书

1.一种离子注入机用高性能低温泵，包括壳体、制冷机、辐射冷屏和障板，所述制冷机包含第一冷却温度的一级冷却台一级比第一冷却温度更低的二级冷却台，所述辐射冷屏与所述一级冷却台热连接，所述壳体的开口划分了低温泵的吸气口，低温泵的主轴贯穿所述吸气口方向且正交于所述制冷机的轴向，其特征在于，还包括被所述辐射冷屏和所述障板包围的吸附阵和转接板，所述吸附阵包括冷头帽、传热板和低温板，所述传热板为侧壁开口的筒状，其轴向平行于低温泵的主轴，所述低温板安装于所述传热板侧壁外表面，所述低温板表面设有吸附材料，所述冷头帽固定安装于所述传热板的上端且正对低温泵的吸气口，所述二级冷却台通过所述传热板的侧壁开口伸入所述传热板内腔并与所述转接板安装连接，所述转接板同时与所述冷头帽安装连接。

2.根据权利要求1所述的离子注入机用高性能低温泵，其特征在于，所述传热板为矩形筒。

3.根据权利要求2所述的离子注入机用高性能低温泵，其特征在于，所述低温板为由安装平板和吸附平板组成的L形结构，所述安装平板与所述传热板的侧壁之间通过铆钉铆接，所述吸附平板垂直于所述传热板的侧壁且与低温泵主轴平行。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的离子注入机用高性能低温泵，其特征在于，所述转接板与所述二级冷却台之间、所述转接板与所述冷头帽之间均通过螺栓连接。

5.根据权利要求1所述的离子注入机用高性能低温泵，其特征在于，所述传热板为圆形筒。