[实用新型]一种离子注入机用高性能低温泵

说明书

本实用新型公开了一种离子注入机用高性能低温泵，包括壳体、制冷机、辐射冷屏、障板，还包括被所述辐射冷屏和所述障板包围的吸附阵和转接板，所述吸附阵包括冷头帽、传热板和低温板，所述低温板表面设有吸附材料，所述冷头帽固定安装于所述传热板的上端且正对低温泵的吸气口，所述二级冷却台通过所述传热板的侧壁开口伸入所述传热板内腔并与所述转接板安装连接，所述转接板同时与所述冷头帽安装连接。上述结构的离子注入机用高性能低温泵有效地提高了整个低温泵的吸附速度和吸附容量，具有结构简易、安装方便的特点。

技术领域

本实用新型属于低温制冷技术领域，具体涉及一种具有较高抽速和吸附能力的低温泵。

背景技术

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

日常使用状态，低温泵安装于真空处理装置的真空腔室中。低温泵采用低温板进行气体(如氮气、氩气)的冷凝，而对于真空腔室中的非冷凝性气体(如氢气)，通常采用吸附的方法进行处理。近年来，随着特殊工艺的提高，像离子注入中的工序，需要低温泵具有较之前约两倍的抽氢速度，把真空腔室中存在的氢气快速抽除，同时要低温泵具备大吸附容量以减少了再生次数，提高工作效率。

实用新型内容

本实用新型针对现有的技术问题作出改进，即实用新型所要解决的技术问题是提供一种具有较快吸附氢速度、较高吸附极限的低温泵。

本实用新型提供的离子注入机用高性能低温泵的技术方案如下：

一种离子注入机用高性能低温泵，包括壳体、制冷机、辐射冷屏和障板，所述制冷机包含第一冷却温度的一级冷却台一级比第一冷却温度更低的二级冷却台，所述辐射冷屏与所述一级冷却台热连接，所述壳体的开口划分了低温泵的吸气口，低温泵的主轴贯穿所述吸气口方向且正交于所述制冷机的轴向，其特征在于，还包括被所述辐射冷屏和所述障板包围的吸附阵和转接板，所述吸附阵包括冷头帽、传热板和低温板，所述传热板为侧壁开口的筒状，其轴向平行于低温泵的主轴，所述低温板安装于所述传热板侧壁外表面，所述低温板表面设有吸附材料，所述冷头帽固定安装于所述传热板的上端且正对低温泵的吸气口，所述二级冷却台通过所述传热板的侧壁开口伸入所述传热板内腔并与所述转接板安装连接，所述转接板同时与所述冷头帽安装连接。

进一步，所述传热板为矩形筒。

进一步，所述低温板为由安装平板和吸附平板组成的L形结构，所述安装平板与所述传热板的侧壁之间通过铆钉铆接，所述吸附平板垂直于所述传热板的侧壁且与低温泵主轴平行。

进一步，所述转接板与所述二级冷却台之间、所述转接板与所述冷头帽之间均通过螺栓连接。

进一步，所述传热板为圆形筒。

基于上述结构的离子注入机用高性能低温泵，为保证吸附抽气速率的提高，障板面积垂直腔体的投影面积较常规障板面积减半；整个吸附阵在有限的空间内，尽量大面积地布置了数块低温板，较常规低温泵增加了吸附材料的布置面积，有效地提高了整个低温泵的吸附速度和吸附容量。此外，吸附阵通过可拆卸的转接板灵活地安装于冷却台上，具有结构简易、安装方便的特点。

附图说明

图1是本实用新型实施例低温泵的剖视图。

图2是图1中吸附阵部分的仰视图。

图3是图1中吸附阵部分的主视图。

具体实施方式

以下描述用于揭露本实用新型以使本领域技术人员能够实现本实用新型。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。