[实用新型]供气装置及膜片钳系统

权利要求书

1.一种供气装置，用于膜片钳系统中，其特征在于，包括气源、总气路和至少两个气体流量控制器，所述气源与所述总气路连接，所述总气路包括供气管路和与所述供气管路连接的至少两个供气支路，所述气体流量控制器设置在所述供气支路上，所述气体流量控制器用于控制通过所述供气支路的气体流量，以使所述供气装置为所述膜片钳系统提供稳定气体流量。

2.如权利要求1所述的供气装置，其特征在于，所述气体流量控制器包括检测单元、控制单元和调节单元，所述检测单元用于检测经过所述供气支路的气体流量信息，并将所述气体流量信息发送至所述控制单元，所述控制单元根据所述气体流量信息和预设流量信息向所述调节单元发送控制信号，所述调节单元根据所述控制信号调节经过所述供气支路的气体流量。

3.如权利要求2所述的供气装置，其特征在于，所述检测单元包括传感器和层流分层件，所述控制单元包括放大控制电路，所述调节单元包括调节阀；所述层流分层件用于使经过所述供气支路的气体处于层流状态，所述传感器用于检测所述层流分层件中的气体压力信息，并将所述气体压力信息发送至所述放大控制电路，所述放大控制电路根据所述气体压力信息计算获得所述气体的瞬时流量，并根据所述瞬时流量和预设流量向所述调节阀发生控制信号，所述调节阀根据所述控制信号调节经过所述供气支路的气体流量。

4.如权利要求1所述的供气装置，其特征在于，还包括设置在供气管路上的减压阀，所述减压阀用于降低通过所述减压阀的气体压力。

5.如权利要求4所述的供气装置，其特征在于，所述减压阀包括减压阀阀体以及设置在所述减压阀阀体上的进气压力表和出气压力表，所述减压阀阀体上设有进气端和出气端，所述进气压力表与所述进气端连通，以检测所述进气端的压力，所述出气压力表与所述出气端连通，以检测所述出气端的压力。

6.如权利要求1所述的供气装置，其特征在于，还包括气体流量调节器，所述气体流量调节器设置在所述供气支路上，并位于所述气体流量控制器和所述气源之间。

7.如权利要求1所述的供气装置，其特征在于，所述气体流量控制器为微量气体流量控制器，所述微量气体流量控制器的调节范围为0.05％-3％。

8.如权利要求1所述的供气装置，其特征在于，所述总气路还包括至少一个三通管，所述三通管设置在所述供气管路与所述供气支路之间，以连接所述供气管路和所述供气支路。

9.如权利要求1所述的供气装置，其特征在于，所述气源包括至少一个气体罐，每一所述气体罐上均设有出气口，所述出气口与所述供气管路连接。

10.一种包括如权利要求1-9任一项所述的供气装置的膜片钳系统。