[实用新型]一种等离子刻蚀机排风装置

权利要求书

1.一种等离子刻蚀机排风装置，包括进气管(1)、分离管(2)和支撑板(3)，其特征在于，所述进气管(1)顶端设置有分离管(2)，分离管(2)一侧设置有支撑板(3)，支撑板(3)上表面设置有电机(4)，电机(4)轴部连接有减速机(5)，减速机(5)连接有第二转轴(27)，减速机(5)一侧设置有驱动箱(6)，第二转轴(27)延伸至驱动箱(6)内腔，所述第二转轴(27)通过皮带传动结构(28)连接有第一转轴(23)，第一转轴(23)延伸至分离管(2)内腔，所述第一转轴(23)盒第二转轴(27)均通过轴承与驱动箱(6)转动连接，所述分离管(2)一侧设置有端盖(7)，端盖(7)通过螺栓与分离管(2)固定连接，所述分离管(2)顶端设置有导气管(8)，导气管(8)连接有壳体(9)；

所述壳体(9)内腔设置有水槽(13)，水槽(13)上方设置有集料槽(20)，集料槽(20)内腔设置有填料(21)，且集料槽(20)为网状透气结构，所述水槽(13)内腔设置有隔网(14)，隔网(14)内设置有吸水罩(15)，吸水罩(15)连接有水管(17)，水管(17)延伸至壳体(9)外侧病设置有水泵(16)，且水管(17)顶端延伸至壳体(9)内腔上方并设置有雾化器(18)，雾化器(18)位于集料槽(20)上方，且雾化器(18)底部设置有若干个均匀分布的雾化喷头(19)，所述壳体(9)顶端设置有风机(11)，风机(11)顶端设置有排气管(12)。

2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机排风装置，其特征在于，所述第一转轴(23)边侧设置有若干个均匀分布的隔板(24)，隔板(24)一侧与分离管(2)内壁滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机排风装置，其特征在于，所述分离管(2)顶端设置有出气口(25)，且出气口(25)内腔设置有滤网(26)。

4.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机排风装置，其特征在于，所述壳体(9)远离导气管(8)一侧底部设置有固定板(10)，固定板(10)为L型结构，且固定板(10)通过螺栓与壳体(9)固定连接，固定板(10)竖直部位设置有螺纹孔(22)。

5.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机排风装置，其特征在于，所述集料槽(20)两侧均设置有滑块，壳体(9)内壁与滑块对应设置有滑槽，滑块与滑槽滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机排风装置，其特征在于，所述分离管(2)为圆柱形结构，且分离管(2)远离端盖(7)一侧为封闭结构。