[实用新型]一种半导体材料导向装置及传送装置有效
申请号: | 201922084723.5 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN210984710U | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 闫志旺 | 申请(专利权)人: | 天津志臻自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人: | 尹均利 |
地址: | 300000 天津市滨海新区华苑*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体材料 导向 装置 传送 | ||
本实用新型提供了一种半导体材料导向装置及传送装置,传送装置包括支架结构、驱动装置、同步带、多个能够放置半导体材料的盒体及导向装置;导向装置包括两套导向结构;两套导向结构对称设置,导向结构包括导向杆及多个定位结构;定位结构包括固定座及定位板,固定座与定位板连接,定位板一端端部设有能够与导向杆配合的凹槽,定位板上设有通槽,通槽一端与凹槽连通,通槽设置在定位板的中部。本实用新型所述的一种半导体材料导向装置及传送装置,解决了由于传统的半导体材料盒体传送方式缺乏半导体材料盒体导向功能,导致半导体材料盒体运输过程中会出现偏移,进而导致半导体材料盒体出现损坏的技术问题。
技术领域
本实用新型属于半导体材料传送领域,尤其是涉及一种半导体材料导向装置及传送装置。
背景技术
在半导体材料产品进行装盒传送操作过程中,现有技术中采用人工或同步带对半导体材料盒体进行运输,由于传统的半导体材料盒体传送方式缺乏半导体材料盒体导向功能,导致半导体材料盒体运输过程中会出现偏移,进而导致半导体材料盒体出现损坏。
发明内容
有鉴于此,本实用新型旨在提出一种半导体材料导向装置及传送装置,解决了由于传统的半导体材料盒体传送方式缺乏半导体材料盒体导向功能,导致半导体材料盒体运输过程中会出现偏移,进而导致半导体材料盒体出现损坏的技术问题。
为达到上述目的,本实用新型的技术方案是这样实现的:
一种半导体材料导向装置,包括两套导向结构;
两套所述导向结构对称设置,所述导向结构包括导向杆及多个定位结构;
所述定位结构包括固定座及定位板,所述固定座与所述定位板连接,所述定位板一端端部设有能够与所述导向杆配合的凹槽,所述定位板上设有通槽,所述通槽一端与所述凹槽连通,所述通槽设置在所述定位板的中部,自然状态下,所述凹槽能够夹紧所述导向杆,所述导向杆设置在所述导向结构的内侧,两个所述导向结构的导向杆并列设置。
进一步的,所述固定座断面结构为矩形,所述定位板远离所述通槽的端部与所述固定座上端面固接,所述固定座前后端部对称设有第一螺纹通孔。
进一步的,所述固定座端面结构为L形,所述固定座上设有能够与所述定位板配合的通孔,所述定位板滑动设置在所述通孔内,所述固定座上设有第二螺纹通孔,所述第二螺纹通孔一端与所述通孔连通。
进一步的,所述通孔设置在所述固定座的中部,所述第二螺纹通孔一端与所述通孔连通,所述第二螺纹通孔另一端设置在所述固定座的上端面。
进一步的,所述定位板上设有第三螺纹通孔,所述第三螺纹通孔贯穿所述通槽。
进一步的,所述定位结构为四个。
一种半导体材料传送装置,包括支架结构、驱动装置、同步带、多个能够放置半导体材料的盒体及上述的导向装置;
所述支架结构包括两个固定支架,两个所述固定支架左右对称设置;
所述同步带固设在两个所述固定支架之间,所述驱动装置的输出端与所述同步带连接,每一所述固定支架上端面均对应设置一个所述导向结构,多个所述盒体放置在所述同步带上,多个所述盒体设置在所述两个所述导向结构之间。
进一步的,所述驱动装置包括电机、减速机及电机支架,所述电机通过所述电机支架与一个所述固定支架连接,所述电机通过所述减速机与所述同步带连接。
相对于现有技术,本实用新型所述的一种半导体材料导向装置及传送装置具有以下优势:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造