[实用新型]一种MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：

基板(1)；

壳体(2)，所述壳体(2)盖设在所述基板(1)上，所述壳体(2)与所述基板(1)形成空腔(5)；

MEMS芯片(3)，所述MEMS芯片(3)置于所述空腔(5)内并与所述基板(1)连接；

声孔(6)，所述声孔(6)设置于所述基板(1)上与所述MEMS芯片(3)相对的位置；

防尘构件和防水构件，所述防尘构件和所述防水构件设置于所述声孔(6)至所述MEMS芯片(3)的声音通道上；

所述防尘构件被配置为防止异物从所述声孔(6)进入所述MEMS芯片(3)内；

所述防水构件被配置为防止液体进入所述MEMS芯片(3)内。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述基板(1)上设置有用于支撑MEMS芯片(3)的支撑部(7)；

所述支撑部(7)包括顶面和与顶面两端连接的侧壁。

3.根据权利要求2所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS芯片(3)具有背腔(9)，所述支撑部(7)的顶面在与所述背腔(9)相对的位置设置有贯通的第一通孔(8)，所述第一通孔(8)被配置为使所述背腔(9)与所述声孔(6)连通。

4.根据权利要求3所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述第一通孔(8)的形状为圆形、正方形、长方形、六边形中的一种或一种以上的组合，所述第一通孔(8)内切圆的直径范围为6-15μm。

5.根据权利要求2所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述防尘构件包括第一防尘网(11)和第二防尘网(12)；

所述第一防尘网(11)设置于基板(1)上远离空腔(5)的一侧，所述第一防尘网(11)上与声孔(6)对应位置设置有多个贯通的第二通孔(13)；

所述第二防尘网(12)与所述支撑部(7)的两端侧壁连接，所述第二防尘网(12)上设置有多个贯通的第三通孔(14)。

6.根据权利要求5所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述第一防尘网(11)的厚度范围为30-80μm，所述第二通孔(13)的形状为圆形、正方形、长方形、六边形中的一种或一种以上的组合，所述第二通孔(13)内切圆的直径范围为5-10μm。

7.根据权利要求5所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述第二防尘网(12)的厚度范围为20-50μm，所述第三通孔(14)的形状为圆形、正方形、长方形、六边形中的一种或一种以上的组合，所述第三通孔(14)内切圆的直径范围为2-6μm。

8.根据权利要求5所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述防水构件设置于所述第二防尘网(12)与所述支撑部(7)的顶面之间。

9.根据权利要求8所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述防水构件包括防水膜(15)和设置在所述防水膜边缘的固定部(16)，所述固定部(16)与所述支撑部(7)的两端侧壁连接；

所述防水膜为PI膜和PTFE膜中的一种或两种的组合，所述PI膜的厚度范围为15-30μm，所述PI膜的孔径范围为0.05-0.5μm；

所述PTFE膜的厚度范围为20-30μm，所述PTFE膜的孔径范围为0.05-0.5μm。

10.根据权利要求2所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述基板(1)上与支撑部(7)连接的位置设置有凹槽(17)，所述凹槽(17)的深度范围为50-120μm。