[实用新型]一种芯片碾压设备有效
申请号: | 201922090706.2 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN211088217U | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 洪育 | 申请(专利权)人: | 福建兆元光电有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B30B9/00;B30B15/30;B30B15/32;B30B15/00 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 陈方淮;蔡学俊 |
地址: | 350109 福建省福州市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 碾压 设备 | ||
1.一种芯片碾压设备,其特征在于:包括用以输送芯片的输送带装置,所述输送带装置上侧设置有一对用以碾压芯片的海绵压辊,输送带装置出料端连接有倾斜设置的下料滑槽,所述下料滑槽下端下方设置有用以接料的接料装置;还包括位于输送带装置进料端的芯片进料装置。
2.根据权利要求1所述的芯片碾压设备,其特征在于:所述芯片进料装置包括用以叠放芯片并能升降的第一升降台,所述第一升降台上设置有用以限制芯片位置且大小可调的限位框;位于第一升降台上方设置有延伸至输送带装置上方的直线滑台,所述直线滑台的滑座上安装有用以取放芯片的取料机构。
3.根据权利要求2所述的芯片碾压设备,其特征在于:所述取料机构包括倒装在直线滑台的滑座上的取料气缸,所述取料气缸的驱动端连接有连接板,所述连接板下侧安装有多个用以吸取芯片的吸盘。
4.根据权利要求2所述的芯片碾压设备,其特征在于:所述限位框由四块挡板围合而成,左右两侧的挡板能左右移动,前后两侧的挡板能前后移动,所述挡板通过由下往上穿过挡板的螺栓锁附在第一升降台上,第一升降台的台面上开设有位于各个挡板下方的T型槽,所述螺栓的头部卡在T型槽内。
5.根据权利要求1所述的芯片碾压设备,其特征在于:所述海绵压辊转动安装在能升降的支架上,所述输送带装置上侧固定连接有用以安装支架的固定架,所述固定架顶部穿设有与其旋转配合的丝杆,丝杆上端设置有手轮,丝杆下端与所述支架上的螺纹孔螺纹连接。
6.根据权利要求1所述的芯片碾压设备,其特征在于:所述接料装置包括用以叠放芯片并能升降的第二升降台,所述第二升降台上设置有三块呈U形的限位板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造